企業(yè)概要

Company Profile

總部	堀場制作所 HORIBA, Ltd.
董事會成員	集團會長兼 CEO　堀場厚
	副會長兼集團 COO　齊藤壽一
	董事長兼 COO　足立正之
創(chuàng)立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
總部	601-8510 京都市南區(qū)吉祥院宮之東町2番地
注冊資本	120.11 億日元 (截至2020年12月31日)
綜合凈銷售額	1870.8 億日元 (至2020年12月31日)　» 投資者相關(guān)頁面
員工數(shù)量	8,269 (截至2020年12月31日)
業(yè)務(wù)范圍	生產(chǎn)和銷售汽車排放測量系統(tǒng)、環(huán)境測量儀器、種類齊全的科學(xué)分析儀、體外診斷分析儀和半導(dǎo)體行業(yè)使用的測量設(shè)備等。HORIBA還生產(chǎn)和銷售外圍測量與分析設(shè)備。此外，公司還可為實驗室等機構(gòu)提供用于研發(fā)、生產(chǎn)和其他應(yīng)用的測量與分析設(shè)備
結(jié)算日	12月31日
上市	東京證券交易所第1部
日本分部	京都總部、滋賀、東京、宮城、櫪木、茨城、神奈川、靜岡、愛知、大阪、香川、廣島、福岡、熊本
海外分部	奧地利、巴西、加拿大、中國、法國、德國、印度、印度尼西亞、意大利、日本、韓國、波蘭、俄羅斯、新加坡、中國臺灣、泰國、英國、美國、越南

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在比利時、捷克、荷蘭、葡萄牙、俄羅斯、西班牙、瑞典和越南設(shè)立分公司
截至2020年12月31日

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產(chǎn)品簡介在線詢價

HF/HNO3濃度計, CS-153N

HF/HNO3濃度計, CS-153N 產(chǎn)品詳情

概要

概要

CS-153N是一款高精度的化學(xué)藥液濃度計，適用于半導(dǎo)體制造中濕法蝕刻制程的嚴(yán)苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續(xù)監(jiān)測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分，在每一次藥液需要替換或補充時向用戶發(fā)出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當(dāng)?shù)姆秶胁⒖杀苊獠槐匾乃幰禾娲?/p>

特征

監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理

實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(*)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
*不包含藥液的置換時間、冷卻時間

小巧化設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間由于底面面積只有原來的2/3(*)左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。

*和本公司產(chǎn)品CS-327系列進行比較

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過濃度計的信號輸出，進行HF/HNO3溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制

用戶只需引入HF/HNO3溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。

采用DC24V，實現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷HF/HNO3溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

關(guān)鍵詞：濃度計電磁閥

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
手持便攜式NMP數(shù)顯濃度儀	￥100	長沙市	長沙三聯(lián)測控技術(shù)有限公司	2026-09-28	在線詢價
鈉離子分析儀庫號：M415794	￥10500	北京市	北京海富達科技有限公司	2026-09-23	在線詢價
音叉式在線濃度計	面議	合肥市	安克智控科技(天長)有限公司	2026-09-22	在線詢價
污泥濃度檢測儀淤泥測量器礦漿濃度計在線污泥實時監(jiān)測儀器	面議	長沙市	湖南水博士科技有限公司	2026-09-21	在線詢價
破損淀粉測定儀	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-18	在線詢價
津儀污泥濃度計懸浮物在線分析儀使用說明書	面議	天津市	天津津儀儀表科技有限公司	2026-09-13	在線詢價

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