企業(yè)概要

Company Profile

總部	堀場制作所 HORIBA, Ltd.
董事會成員	集團會長兼 CEO　堀場厚
	副會長兼集團 COO　齊藤壽一
	董事長兼 COO　足立正之
創(chuàng)立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
總部	601-8510 京都市南區(qū)吉祥院宮之東町2番地
注冊資本	120.11 億日元 (截至2020年12月31日)
綜合凈銷售額	1870.8 億日元 (至2020年12月31日)　» 投資者相關(guān)頁面
員工數(shù)量	8,269 (截至2020年12月31日)
業(yè)務(wù)范圍	生產(chǎn)和銷售汽車排放測量系統(tǒng)、環(huán)境測量儀器、種類齊全的科學分析儀、體外診斷分析儀和半導(dǎo)體行業(yè)使用的測量設(shè)備等。HORIBA還生產(chǎn)和銷售外圍測量與分析設(shè)備。此外，公司還可為實驗室等機構(gòu)提供用于研發(fā)、生產(chǎn)和其他應(yīng)用的測量與分析設(shè)備
結(jié)算日	12月31日
上市	東京證券交易所第1部
日本分部	京都總部、滋賀、東京、宮城、櫪木、茨城、神奈川、靜岡、愛知、大阪、香川、廣島、福岡、熊本
海外分部	奧地利、巴西、加拿大、中國、法國、德國、印度、印度尼西亞、意大利、日本、韓國、波蘭、俄羅斯、新加坡、中國臺灣、泰國、英國、美國、越南

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在比利時、捷克、荷蘭、葡萄牙、俄羅斯、西班牙、瑞典和越南設(shè)立分公司
截至2020年12月31日

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產(chǎn)品簡介在線詢價

FPM濃度計,CS-153

FPM濃度計,CS-153 產(chǎn)品詳情

概要
規(guī)格

概要

CS-153是一款高精度的化學藥液濃度計，適用于半導(dǎo)體制造中濕法蝕刻制程的嚴苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續(xù)監(jiān)測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分，在每一次藥液需要替換或補充時向用戶發(fā)出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當?shù)姆秶胁⒖杀苊獠槐匾乃幰禾娲?/p>

特征

監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理

實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(*)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

*不包含藥液的置換時間、冷卻時間

小巧化設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間由于底面面積只有原來的2/3(*)左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。

*和本公司產(chǎn)品CS-327系列進行比較

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量

通過濃度計的信號輸出，進行FPM溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制

用戶只需引入FPM溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策

在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。

采用DC24V，實現(xiàn)高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

規(guī)格

型號規(guī)格	CS-153: 無冷卻單元 CS-153C: 冷卻單元一體型
測量樣品	FPM(HF/H2O2藥液)
測量原理	吸收光譜測定法
濃度計算原理	溫度補償型多變量解析法
測量范圍	HF: 0.00至10.00% H₂O₂: 0.00至10.00% H₂O: 80.0至100.0% 如需其它量程信息，請與HORIBA聯(lián)系。
再現(xiàn)性 (峰-峰)	TMAH: ± 0.30% H₂O₂: ± 0.30% H₂O: ± 2.0%
藥液條件	CS-153: 溫度: 20至30°C 流量: 20至60 mL/min. 壓力: 0.10至0.20 MPa CS-153C: 溫度: 20至80°C 流量: 20至40 mL/min. 壓力: 0.10至0.20 MPa
測量周期	最小約 2 秒 (不包含藥液的置換時間和冷卻時間)
設(shè)備溫度	20 至25°C
操作面板	1) 溫度值顯示: HF、、水 2) 報警信號的顯示(HF、)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限 3)報警信號值的設(shè)定(HF、*)：濃度下-下限、濃度下限，濃度上限、濃度上-上限
串行輸入/輸出	RS-232C 1) 濃度數(shù)據(jù): HF、* 2)報警信號值的設(shè)定(HF、*)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限并行輸入DC12?30V(光電耦合器絕緣) 并行濃度報警(ON/OFF)
并行輸出	開路集電極輸出為ON 時的電流：5mA 開路集電極輸出為OFF時的電壓：30V 1)報警信號輸出(TMAH、*)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限 2)裝置異常 3)漏液
模擬輸出	4?20mA(2輸出：TMAH濃度、H₂O₂濃度的2輸出) *與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無關(guān)，可以使4?20mA輸出對應(yīng)于0?10%濃度。(請在訂貨時指定)
電源	24 V DC ± 10%, 2 A
外形尺寸	CS-153: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm CS-153C: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm
重量	CS-153: 約11 kg CS-153C: 約12 kg
連接配管尺寸	導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm )
配管接頭	Nippon Pillar Super型

關(guān)鍵詞：濃度計電磁閥光電耦合器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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