旋轉(zhuǎn)臺(tái)

直徑：0.01um~75um

旋轉(zhuǎn)精度：（0.04+6H/10000）um（H=Probing height測(cè)量高度）

旋轉(zhuǎn)速度：6rpm

工作直徑：150mm

中心范圍：±3mm

升降范圍：±1°

探測(cè)直徑小于：280mm

工件直徑小于：440mm

工件重量小于：20kg

垂直圓柱

位移范圍：280mm

粗/微進(jìn)給：粗進(jìn)給 約30mm/rev  微進(jìn)給 約1mm/rev

測(cè)量高度（OD）小于：280mm

測(cè)量高度（ID）小于：280mm

測(cè)量深度小于：100m2m（使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭時(shí)12AAB681）

水平支臂

位移范圍：165mm

粗/微進(jìn)給：粗進(jìn)給 約30mm/rev  微進(jìn)給 約1mm/rev

空氣補(bǔ)給

空氣壓力：390kPa

空氣消耗：每分鐘45升（正常情況下）

探頭與測(cè)針

測(cè)量范圍：±1000um

測(cè)量力：70至100mN（7至10gf）

測(cè)量方向：雙方向切換測(cè)頭

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭（12AAB681）：硬質(zhì)合金球ф1.6mm

性能參數(shù)

數(shù)字濾波：2CR-75%/50%，2CR-75%/50%（相位校正），Gaussian-50%

截止值：低通：15upr，50upr，150upr，500upr

帶通：15-150upr，15-500upr，50-500upr

參考圓：LSC，MZC，MIC，MCC

資料分析項(xiàng)目：圓度、同心度、同軸度、垂直度、平面度、平行度、

壁厚偏差、徑向圓周跳動(dòng)、軸向圓周跳動(dòng)、與軸的同軸度、與平面的垂直度

放大陪率：100X-200,000X、自動(dòng)或任意

數(shù)據(jù)采樣點(diǎn)：1，800點(diǎn)/轉(zhuǎn)

可測(cè)量截面?zhèn)€數(shù)：大于5  不大于100

處理器：配備了Roundpak-100的PC

記錄器：外部打印機(jī)(選件)

氣壓：390kpa

耗氣量：30L/min

電源供給：100V-240V AC，50/60Hz

電源消耗：40VA（不含PC）

尺寸

主裝置： 660*415*620mm

空氣過濾裝置：210*130*190mm

重量

主裝置：40kg

空氣過濾裝置：2kg

標(biāo)準(zhǔn)附件

1、標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭（12AAB681）

2、增益調(diào)整膜（350365）

3、測(cè)量分析軟件Roundpak100

4、用戶手冊(cè)

選配配件

1、快速卡盤（211-032）          

2、參考半球（211-016）