半自動半導體快速退火爐RTP

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型號
品牌
所在地東莞市
更新時間2026-01-11

東莞市晟鼎精密儀器有限公司

廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
所在地區(qū)東莞市
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量74
人氣值2145

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產(chǎn)品簡介在線詢價

所屬分類：快速退火爐 RTP-SA-12半自動快速退火爐是在保護氣下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用 4-12 英寸片。

半自動半導體快速退火爐RTP 產(chǎn)品詳情

RTP-SA-12半自動快速退火爐是在保護氣下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用 4-12 英寸片。相對于傳統(tǒng)擴散爐退火系統(tǒng)和其他 RTP 系統(tǒng)，其獨特的腔體設計、的溫度控制技術和的 RL900 軟件控制系統(tǒng)，確保了的熱均勻性。

關鍵詞：控制系統(tǒng)

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