DV系列隔膜閥,膜片式硬密封結(jié)構(gòu),超低泄漏率;適用于超高純度氣體,半導(dǎo)體用(毒、腐)氣體,滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。
閥體 316L /316L(VIM+VAR)
膜片 Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022
密封墊 PCTFE
手柄 6063
工作壓力 真空至 300psig, 真空至 3000psig
爆破壓力 低壓 3000psig, 高壓 9000psig
流量系數(shù) 1/4" 為 0.25 , 1/2" 為 0.35,1/2"HF 為 0.7
工作溫度 低壓 -10 ~ 60℃ , 高壓 -10 ~ 40℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
適合超高純度氣體應(yīng)用
高低壓兩種閥型
Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片
每臺(tái)閥門進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測(cè)




































化州市|
开封县|
巴里|
镇远县|
威远县|
开阳县|
清水河县|
河间市|
沙田区|
洛阳市|
五大连池市|
鄂尔多斯市|
富源县|
军事|
蒙城县|
宣恩县|
昭苏县|
达拉特旗|
扶风县|
武鸣县|
衡阳县|
盐池县|
香格里拉县|
六枝特区|
婺源县|
奉节县|
武清区|
关岭|
肥西县|
马龙县|
老河口市|
平顺县|
谢通门县|
金昌市|
台州市|
长阳|
曲阳县|
太和县|
甘南县|
明溪县|
湄潭县|