閥體 316L (VIM+VAR)
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PFA
工作壓力 真空至145psig
流量系數(shù) 0.27/0.62
工作溫度 0 ~ 70℃,0 ~200℃(高溫型)
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.13μm




































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