數(shù)字式中量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計DC-M100C/M主要應(yīng)用在量程范圍從30SLM--100SLM之間氣體流量的測量和控制,產(chǎn)品耐壓能達(dá)5Mpa,采用新型傳感制作工藝,具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點,適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)。
性能特點:
1、響應(yīng)速度快 2、耐壓5Mpa
3、抗干擾性強(qiáng) 4、寬壓力范圍
5、流量控制精準(zhǔn) 6、數(shù)據(jù)傳輸距離遠(yuǎn)
技術(shù)參數(shù):
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘) SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)
標(biāo)準(zhǔn)狀況:溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程
型號 | DC-S030C | DC-S030M |
流量規(guī)格 | 30SLM---100SLM | |
控制量程(N2) | 2—99% | 2—99% |
精度 | ≤±1%F.S | |
線性 | ≤±0.5%F.S | |
重復(fù)性 | ≤±0.2%F.S | |
閥門類型 | 常閉閥 | |
響應(yīng)時間 | 1—2S | |
耐壓 | 50Bar | |
通訊信號 | 模擬通訊 0—5V或4—20mA 數(shù)字通訊 RS485 | |
供電方式 | ﹢14VDC—27VDC(300mA) | |
泄露率 | 1X10-9atm.cc/sec.He | |
數(shù)字式中量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計DC-M100C/M應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設(shè)備



































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