YAMASHITA山下電裝表面缺陷檢查裝置

YAMASHITA山下電裝表面缺陷檢查裝置

表面缺陷檢查裝置，高倍率表面缺陷檢查裝置

產(chǎn)品介紹

表面缺陷檢查裝置

應(yīng)用自古以來傳承的魔鏡原理，以超高靈敏度即時檢查鏡面平面基板表面狀態(tài)的裝置，所有的硅晶圓制造商都在使用。檢查是非接觸、非破壞性的，并且光學(xué)系統(tǒng)無需維護。

選項中，可以增加表面缺陷的自動判定圖像處理、自動傳送機構(gòu)、圖像記憶、圖像打印等功能。

瞬間表達(dá)整體表面狀態(tài)。

光學(xué)系對應(yīng)于1類班級。

光學(xué)系是免維護的。

根據(jù)檢查內(nèi)容，可以調(diào)整檢測靈敏度。

高倍率表面缺陷檢查裝置

YIS系列的高倍率檢查裝置，將視野10mm顯示在屏幕上。

特別適用于Epilight處理后產(chǎn)生的滑移線的檢查。此外，也適用于硬盤、光學(xué)研磨部件的表面檢查。

其檢測靈敏度相當(dāng)于顯微鏡的50倍。

缺陷檢查（Defect inspection）是數(shù)字圖像信號處理技術(shù)，通過能量束照射檢測對象并分析反射/散射信號強度，當(dāng)信號超過基于噪聲max值設(shè)定的閾值時判定為缺陷 。該方法根據(jù)圖案密度自動設(shè)定判定區(qū)域，流程包含制作多方向掃描圖像數(shù)據(jù)、生成寬度圖像數(shù)據(jù)、提取缺陷尺寸數(shù)據(jù)及綜合判定缺陷。

該技術(shù)采用同軸反射與斜入射照明協(xié)同模式，通過圖像采集裝置獲取被檢物體表面數(shù)字圖像。其硬件系統(tǒng)由客戶計算機、數(shù)據(jù)庫及主計算機通過通信線路構(gòu)成，分別承擔(dān)圖像獲取、數(shù)據(jù)存儲和缺陷分析功能。檢測裝置可集成LED光源、工業(yè)相機及光學(xué)鏡頭，結(jié)合雙邊濾波、Canny邊緣檢測等算法實現(xiàn)降噪與特征提取。

早期缺陷檢測主要依賴光學(xué)顯微鏡與人工目視檢測。隨著技術(shù)進步，自動化光學(xué)檢測系統(tǒng)逐漸采用激光掃描與X射線成像技術(shù)。近年來深度學(xué)習(xí)技術(shù)被引入工業(yè)檢測領(lǐng)域，通過卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、目標(biāo)檢測算法實現(xiàn)端到端的缺陷識別 [7-8]，同時脈沖紅外熱成像與AI結(jié)合的方案擴展了微觀缺陷檢測能力