| 項 目 | 規(guī) 格 |
| 流量范圍 | 0~10SLPM(可根據(jù)客戶需求標定) |
| 精 度 | ±1%,±0.5%讀數(shù),±0.1%滿量程 |
| 重 復(fù) 度 | ±0.25% |
| 響應(yīng)時間 | <1S(默認),200mS可根據(jù)客戶需求定制 |
| 壓力范圍 | 1MPa,2MPa,3MPa,10MPa |
| 漏 率 | 1×10-7Pa.SLPM/S(默認),1×10-9Pa.SLPM/S(可根據(jù)客戶需求定制) |
| 控制方式 | 0-5VDC,4-20mA |
| 通訊方式 | RS232,RS485,Profibus,DevicNet |
| 控制范圍 | 4-99% |
| 工作溫度 | -10~60℃ |
| 供電電源 | 9-36VDC,±15VDC |
| 電源功耗 | 4W |










































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