半導(dǎo)體微小質(zhì)量流量計
該系列產(chǎn)品原生半導(dǎo)體級設(shè)計，具備高速、高精、高潔凈、高穩(wěn)定優(yōu)勢，最快50ms級響應(yīng)，0.02%F.S.高重復(fù)性與±0.05%F.S.高精度，具備EP/雙V潔凈度、HC/鎳鉻合金接液、全金屬密封等可選配置，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造（薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗、熱處理等）場景。
| 參數(shù)項 | 參數(shù)詳情 |
|---|---|
| 產(chǎn)品系列 | GRYLLS-7000G 系列 |
| 流量范圍 | 0.5SCCM-1000SLPM |
| 量程比 | 50:1/100:1/200:1/500:1/1000:1/10000:1（可選） |
| 多氣體 / 多量程 | 可定制多種氣體 / 多量程 |
| 精度 | ±1% F.S./±0.5% F.S./±0.05% F.S./±0.1% S.P.（可選） |
| 響應(yīng)速度 | 最快<50ms；(200ms/500ms 可選) |
| 重復(fù)性 | ±0.02% F.S.-±0.1% F.S.（不同量程，該數(shù)值會有區(qū)別） |
| 線性度 | ±0.2% F.S.-±0.1% F.S.（不同量程，該數(shù)值會有區(qū)別） |
| 環(huán)境溫度使用范圍 | - 10℃到 60℃；高低溫產(chǎn)品可達零下 200℃, 最高可達 250℃ |
| 零點溫度漂移 | ±0.003%F.S./℃ - ±0.02%F.S./℃ |
| 跨度溫度漂移 | ±0.05% Rate/℃ -±0.02% Rate/℃ |
| 工作壓力 | 耐壓 1Mpa, 壓差根據(jù)流量大小在 0.1Mpa-0.3Mpa 之間，可定制極低壓損產(chǎn)品和高壓差以及耐高壓產(chǎn)品 |
| 對外泄露率 | 1×10-11Pa?m3/sec/1×10-10Pa?m3/sec/1×10-9Pa?m3/sec（可選） |
| 安裝方向 | 任意方向安裝， 無需直管段 （超過 500SLPM 量程建議水平安裝， 如果垂直安裝建議流體下進上出） |
| 接液材料 | 316L+KM45+PCTFE/FKM/EPDM/FFKM/316L VimVar+ PFA/HC, 鎳鉻合金（可選） |
| 殼體防護等級 | IP40 |
| 工藝 | 流體拋光， 機械拋光， 電拋， 鈍化處理 |
| 密封方式 | A: 金屬密封 B: 彈性體密封 |
| 表面處理 | 雙 V, 表面 Ra0.1um/EP, 表面 Ra0.25um/BA, 表面 Ra0.4um（可選） |
| 顯示屏 | 頂部顯示屏可選 |
| 通信模式 | 0-5V,4-20mA,RS232, RS485,modbus, DeviceNet, EtherCAT,PROFIBUS,PROFINET,EtherNet/IP（除支持以上通訊協(xié)議外， 還可定制或兼容其它通訊協(xié)議） |
| 供電電源 | 9-30vDC 電源地與信號地內(nèi)部隔離 |
| 電源功耗 | 11-30V(<8watt) |
| 機械接頭 | VCR、卡套、IGS、內(nèi)螺紋，其他可定制 |
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