可靠的凈化處理和預(yù)防污染

APR 是一個在等待時間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)。空氣分子污染物（簡稱 AMC）降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機(jī)或無機(jī)分子。通過在 APR 室里進(jìn)行疏散，吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量，且各個工藝步驟之間的等待時間也會得到優(yōu)化。

APR 是如何工作的

FOUP 既可以手動傳送，也可通過 2 個裝載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個帶有四疊真空室的系統(tǒng)，用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理，這項工作由一個可靠的機(jī)器人來擔(dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨(dú)地進(jìn)行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后，腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進(jìn)行去污凈化處理。之后，該腔室采用潔凈的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時，這些晶圓以及運(yùn)輸箱不受污染已超過一天。