有效的污染監(jiān)測(cè)

水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，* (HF)，于等待時(shí)間內(nèi)，在 FOUP 槽對(duì)槽的空間里被釋放出來(lái)。而這些元素會(huì)在圖樣晶圓上生成晶體生長(zhǎng)，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過(guò) FOUP 過(guò)濾器來(lái)對(duì) AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi)，通過(guò)離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測(cè)、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術(shù)，測(cè)量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生，具有高靈敏度。而當(dāng)負(fù)載端口上沒(méi)有 FOUP 時(shí)，APA 302 會(huì)監(jiān)控周?chē)臐崈羰噎h(huán)境。

FOUP 環(huán)境的可靠分析

為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動(dòng)校準(zhǔn)功能，它會(huì)在定期的時(shí)間間隔內(nèi)被激活。對(duì)于在 APA 中對(duì) AMC 的監(jiān)控，可在有晶圓或無(wú)晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動(dòng)傳送，也可通過(guò) 2 個(gè)負(fù)載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來(lái)傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時(shí)間，污染的增加量能立刻被察覺(jué)到，且產(chǎn)量增加。