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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳華普通用科技有限公司，專業(yè)提供實驗室分析測試儀器和自動化方案。公司分為儀器代理和自主研發(fā)兩大業(yè)務(wù)板塊。代理業(yè)務(wù)是和國際儀器公司合作，從事設(shè)備代理以及售后服務(wù)。自主研發(fā)業(yè)務(wù)是綜合運用自動化、機器人、計算機視覺以及人工智能等技術(shù)，為客戶提供標(biāo)準(zhǔn)化儀器和自動化解決方案，降低實驗室人員工作強度，提升工作效率，同時提高工作質(zhì)量。華普通用擁有一支高效的研發(fā)團隊和技術(shù)型的銷售隊伍，在公司十多年的發(fā)展過程中累了大量的行業(yè)案例和經(jīng)驗。華普通用愿通過不懈的努力，與廣大客戶、合作伙伴精誠合作，始終專注于為客戶提供智慧實驗室解決方案，助力客戶成功！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

全反射 X 射線熒光光譜儀表面污染計量測量離散點的元素污染或使用完整的晶圓圖

日本理學(xué)全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF 3760-華普通用產(chǎn)品詳情

全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF 3760分析可以測量所有晶圓廠工藝中的污染，包括清潔、光刻、蝕刻、灰化、薄膜等。全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF 3760 可以使用單目標(biāo) 3 光束 X 射線系統(tǒng)和無液氮探測器系統(tǒng)測量從鈉到 U 的元素。

全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF 3760 包括理學(xué)獲得的 XYθ 樣品臺系統(tǒng)、真空晶圓機器人傳輸系統(tǒng)和新的用戶友好型窗口軟件。所有這些都有助于提高吞吐量、更高的準(zhǔn)確度和精度，以及簡化的日常操作。

可選的掃描TXRF軟件可以繪制晶圓表面上的污染物分布圖，以識別可以更高精度自動重新測量的“熱點”?？蛇x的 ZEE-TXRF 功能克服了原始 TXRF 設(shè)計歷 15 mm 邊緣排除的問題，使測量能夠以零邊緣排除進行。

特征

易于操作，分析結(jié)果快速
接受 200 mm 及更小的晶圓
緊湊的設(shè)計，占地面積
大功率旋轉(zhuǎn)陽極源
多種分析元素（Na~U）
輕元素靈敏度（針對鈉、鎂和鋁）
應(yīng)用于裸硅和非硅基板
從缺陷檢測工具導(dǎo)入測量坐標(biāo)以進行后續(xù)分析

規(guī)格

產(chǎn)品名稱	TXRF 3760
技術(shù)	全反射 X 射線熒光（TXRF）
效益	從Na到U的快速元素分析，以測量所有晶圓廠工藝中的晶圓污染
科技	帶無液氮探測器的 3 光束 TXRF 系統(tǒng)
核心屬性	高達 200 mm 的晶圓、XYθ 樣品臺系統(tǒng)、真空晶圓機器人傳輸系統(tǒng)、ECS/GEM 通信軟件
核心選項	掃描TXRF軟件可以繪制晶圓表面上的污染物分布圖，以識別“熱點”。ZEE-TXRF 功能可實現(xiàn)零邊緣排除的測量
計算機	內(nèi)置電腦，微軟視窗操作系統(tǒng)®
核心尺寸	1000 （寬） x 1760 （高） x 948 （深）毫米
質(zhì)量	100 千克（核心單元）
電源要求	3?， 200 VAC 50/60 Hz， 100 A

關(guān)鍵詞：光譜儀通信軟件

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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