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Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地天津市
  • 更新時(shí)間2026-07-23
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量27
  • 人氣值502
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Hitachi CDSEM S9380 Retrofit
Hitachi CDSEM S9380 Retrofit 產(chǎn)品詳情

Retrofit CDSEM S-9380 執(zhí)行原廠新機(jī)器同樣驗(yàn)收技術(shù)指標(biāo):

提供樣品測試驗(yàn)證;

General

Wafer size : 8-inch (200-mm size)

V-notch wafer of SEMI or JEIDA standards is applicable.

CD measurement principle : Cursor and line profile measurement

CD measurement range : 0.05 to 2.0 mm (either line width or hole diameter)

CD measurement reproducibility : ±1% or 0.6 nm (3 sigma), whichever larger

Throughput : due to the data after modification from Hitachi High-Technologies Corporation

Secondary electron image resolution

: 2 nm (at accelerating voltage of 0.8 kV; with

Hitachi’s reference specimen for resolution measurement)

Magnification : SEM image - 1,000to 300,000

Optical microscope image - approximately 110x (220x is optional)

升級:實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)上傳接口;

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