FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50技術(shù)參數(shù)
1.電子槍:高亮度、方便維護(hù)的鎢燈絲電子槍
2.分辨率:
二次電子:
(1)高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV
(2)高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項)
(3)低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV
背散射電子:
(1)4.0nm @ 30kV
3.加速電壓:200 V - 30 kV, 連續(xù)可調(diào)
4.探測器:E-T二次電子探測器,可選?散射探測器
5. 50x50mm 4軸馬達(dá)驅(qū)動全對中樣品臺
FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50主要特點
1.分子泵真空系統(tǒng)
2.高穩(wěn)定性、高亮度鎢燈絲電子槍,滿足高分辨觀察和微觀分析的要求
3.FEI獨特的LFD低真空二次電子探測器
4.可同時安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統(tǒng)
5.基于Windows XP的圖形用戶界面, 簡單易用




































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