特點(diǎn):
- SB型號樣品室裝有3軸馬達(dá)驅(qū)動的樣品臺
- YAG閃爍體探測器
- 樣品室有10個接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測器
- 可選配其他探測器和附件
- 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時工作幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀察非導(dǎo)電的樣品(SBU型號)
- 利用3D Metrology軟件可以實(shí)現(xiàn)3維重構(gòu)及測量功能
VEGA3 SB-Easyprobe配置
VEGA3 SBH-Easyprobe
高真空型SEM,配備有3軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺,適用于觀察小型導(dǎo)電樣品。同時可完成元素分析。
VEGA3 SBU-Easyprobe
可變真空型掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn),可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。同時可完成能譜分析。





































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