TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調(diào)節(jié),自動測量 薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量。光源 采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器軟件具有 生成表、查表以及精確計算等功能,方便用戶使用。
規(guī)格參數(shù)
測量范圍:薄膜厚度范圍:1~300nm
折射率范圍:1~10
入射角調(diào)節(jié)范圍:20~90°
膜厚精度:±1nm
折射率重復(fù)精度:±0.01
外形尺寸/重量:590mm*390mm*290mm/25kg
主要配置
TPY-1 橢圓偏振測厚儀主機
控制系統(tǒng):電控箱
二氧化硅膜樣片
配套專用測量分析軟件

























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