TPY-2自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動控制,自動 測量薄膜厚度和折射率,具有精度和靈敏度更高等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器采用 USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采 集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
規(guī)格參數(shù)
測量范圍:薄膜厚度范圍:1~300nm
折射率范圍:1~10
入射角調(diào)節(jié)范圍:20~90°
膜厚精度:±1nm
折射率重復(fù)精度:±0.01
外形尺寸/重量:590mm*390mm*290mm/25kg
主要配置
TPY-2 自動橢圓偏振測厚儀主機(jī)
控制系統(tǒng):電控箱
二氧化硅膜樣片
配套專用測量分析軟件

























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