薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備簡(jiǎn)介:
       FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評(píng)估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，三-五族，太陽(yáng)能，LED,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，微機(jī)電和面板產(chǎn)業(yè)。這些特性有助于檢測(cè)到諸如薄膜開(kāi)裂，空隙，突起等可能在生產(chǎn)過(guò)程中導(dǎo)致嚴(yán)重的問(wèn)題。在新工藝和材料投入生產(chǎn)前，F(xiàn)SM500TC作為檢驗(yàn)其成熟性的工具，起著重要的作用。

       FSM 500TC 200mm簡(jiǎn)潔的用戶(hù)界面，使其很容易被操作人員或者偶爾使用的研發(fā)人員在研發(fā)或者生產(chǎn)環(huán)境下進(jìn)行室溫和高溫環(huán)境下的應(yīng)力測(cè)試。

主要設(shè)計(jì)特性：
·  多用途:
兼容50-200mm晶圓，無(wú)需要更換樣品載片臺(tái)和夾具，可以在室溫和高溫下測(cè)試晶圓應(yīng)力和晶圓彎曲。
·  樣品容易放置和回收
通過(guò)使用定位銷(xiāo)使得晶圓很容易放置到 FSM 500TC內(nèi)進(jìn)行重復(fù)操作
·  自動(dòng)切換雙波段激光
具有的自動(dòng)激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切換到不同波長(zhǎng)的另外一只激光進(jìn)行掃描。這使客戶(hù)可以測(cè)量包括Nitride，Polyimides, Low K，HighK,金屬等薄膜而不會(huì)遇到無(wú)法測(cè)量的問(wèn)題。
·  可編程溫度周期
加熱周期菜單可編程為單個(gè)或者多個(gè)運(yùn)行在不同的升溫速率和退火溫度條件下，進(jìn)行薄膜材料的熱穩(wěn)定性檢測(cè)。
·  數(shù)據(jù)管理和報(bào)告
測(cè)試結(jié)果可用應(yīng)力vs溫度，應(yīng)力vs時(shí)間, 或者晶弓vs溫度為坐標(biāo)生成圖表，方便顯示和輸出成 Excel™ 或者 Word格式的報(bào)告。熱膨脹系數(shù)計(jì)算應(yīng)用是FSM500TC的標(biāo)準(zhǔn)功能。

相互疊加的多個(gè)加熱周期，測(cè)試結(jié)果的圖表和MAP可以很容易輸出為Excel或者 Word文檔生成報(bào)告。