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FSM 413 紅外干涉測(cè)量設(shè)備

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)FSM413
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2026-06-11
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量108
  • 人氣值1102
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鉑悅儀器自 2004年成立以來(lái),憑借與世界各大儀器品牌的戰(zhàn)略合作關(guān)系,以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營(yíng)管理,提高服務(wù)質(zhì)量,成為中國(guó)國(guó)內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè),產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測(cè)儀器和生產(chǎn)設(shè)備,以及配套的耗材和配件,這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、工業(yè)、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個(gè)領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、及政府部門(mén)等。鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品,更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),本著客戶至上的原則,從客戶的實(shí)際需求出發(fā),鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制的綜合解決方案,并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù),由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海,并在北京、廣州、成都等共設(shè)立了七個(gè)辦事處,在能及時(shí)引進(jìn)技術(shù)的同時(shí),保證了鉑悅儀器能快速、有效的為全國(guó)各地的客戶提供良好的服務(wù)。
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產(chǎn)品描述:紅外干涉測(cè)量技術(shù), 非接觸式測(cè)量
紅外干涉測(cè)量設(shè)備 產(chǎn)品詳情

紅外干涉測(cè)量設(shè)備適用于可讓紅外線通過(guò)的材料

硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石  英、聚合物…………

襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

平整度

厚度變化 (TTV)

溝槽深度

過(guò)孔尺寸、深度、側(cè)壁角度

粗糙度

薄膜厚度

環(huán)氧樹(shù)脂厚度

襯底翹曲度

晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測(cè)量

TSV 深度、側(cè)壁角度...

測(cè)量方式: 紅外干涉(非接觸式)

樣本尺寸:  50、75、100、200、300 mm

測(cè)量厚度: 30 — 780 μm (單探頭)

3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量)

掃瞄方式: 半自動(dòng)及全自動(dòng)型號(hào),

另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

襯底厚度測(cè)量: TTV、平均值、小值、大值、公差...

粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭*

0.8 μm (1 sigma)雙探頭*

分辨率:   10 nm

設(shè)備尺寸:

413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)

413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 

重量: 500 lbs

電源 : 110V/220VAC      真空: 100 mm Hg

*樣本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS)

** 150μm厚硅片(沒(méi)圖案、雙面拋光并沒(méi)有摻雜)

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