慧諾12Az實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)：四段速度控制，液晶顯示，光刻膠涂布專用

在半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、材料科學(xué)等領(lǐng)域，薄膜制備和光刻膠涂覆工藝對(duì)涂層的均勻性、厚度一致性有著高要求。慧諾12Az實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)采用四段速度控制器，液晶顯示屏，勻膠時(shí)間0~240s，轉(zhuǎn)速范圍100~7000rpm，可存儲(chǔ)8組程序，適用于光刻膠涂布、涂硼等工藝，也可用于涂覆聚合物涂層、薄膜制備等多種應(yīng)用場(chǎng)景。

一、產(chǎn)品概述

慧諾12Az勻膠機(jī)基于離心力工作原理，將膠液滴在旋轉(zhuǎn)的基片上，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)使膠液在基片表面均勻分布，形成薄膜或涂層。儀器采用可靠的電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器，吸片通過(guò)電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶動(dòng)多臺(tái)勻膠機(jī)工作，適合流水線工藝。

該設(shè)備采用液晶顯示屏，四段速度可編程控制，勻膠時(shí)間0~240s可調(diào)。裝片直徑可選擇10~100mm，適配不同尺寸基片。操作簡(jiǎn)便，勻膠效率高。

二、核心功能

四段速度控制，靈活編程
提供4個(gè)速度段（1V、2V、3V、4V）和對(duì)應(yīng)的時(shí)間段（T000），每段速度和運(yùn)行時(shí)間均可獨(dú)立設(shè)置，滿足多階段旋涂工藝需求，如低速鋪膠→高速甩平→減速停止等流程。

八組程序記憶，快速調(diào)用
最多可存儲(chǔ)8組程序（A1-A8），不同工藝參數(shù)可分別保存，常用工藝一鍵調(diào)用，提高實(shí)驗(yàn)重復(fù)性和操作效率。

轉(zhuǎn)速范圍寬，步進(jìn)精確
轉(zhuǎn)速范圍100~7000rpm，步進(jìn)精度50rpm，勻膠時(shí)間0~240s可調(diào)，滿足不同材料和厚度的涂覆需求。

加速一致性與轉(zhuǎn)速穩(wěn)定
加速一致性±1%，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±1%，確保每次旋涂的加速度和轉(zhuǎn)速高度一致，保證涂膜均勻性和工藝可重復(fù)性。

液晶顯示屏，操作直觀
采用液晶顯示屏，實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前速度、時(shí)間、段位等參數(shù)，操作狀態(tài)一目了然。

電磁閥控制氣路，適配流水線
吸片采用電磁閥控制氣路，一個(gè)真空泵可同時(shí)帶多個(gè)勻膠機(jī)工作，提高生產(chǎn)效率。

電機(jī)轉(zhuǎn)矩大，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)
采用高性能電機(jī)，轉(zhuǎn)矩優(yōu)于同類產(chǎn)品，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠，電器線路設(shè)計(jì)可靠，確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

真空吸附，基片固定牢固
配備真空吸附系統(tǒng)，確?；诟咚傩D(zhuǎn)過(guò)程中牢固固定在托盤上，避免偏移或脫落。裝片直徑可選擇10~100mm。

三、詳細(xì)規(guī)格參數(shù)

慧諾12Az實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)電源電壓為AC200-230V單相，電源功率200W。裝片直徑可在10至100毫米范圍內(nèi)選擇。

程序控制方面，支持八組程序（A1-A8）記憶存儲(chǔ)。加速一致性為±1%，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度為±1%。勻膠時(shí)間為0至240秒。外形尺寸為260×210×150毫米（不含鍋的高度），電機(jī)軸高度50毫米，整機(jī)重量約8公斤。真空泵為選配件。

速度控制方面，提供4個(gè)速度段（1V、2V、3V、4V）及對(duì)應(yīng)時(shí)間段（T000）記憶功能。轉(zhuǎn)速范圍為100至7000rpm，步進(jìn)精度50rpm。

四、工作原理

勻膠機(jī)的工作原理是通過(guò)將膠液滴在旋轉(zhuǎn)的基片上，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使膠液在基片表面均勻分布，形成薄膜或涂層。離心力會(huì)將膠液從中心向外邊界擴(kuò)散，最終形成均勻的涂層。勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時(shí)間以及膠液的粘度等參數(shù)會(huì)影響薄膜或涂層的厚度和均勻性。

五、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 四段速度編程：靈活控制多階段旋涂工藝

• 八組程序記憶：常用參數(shù)一鍵調(diào)用

• 轉(zhuǎn)速范圍寬：100~7000rpm，步進(jìn)50rpm

• 勻膠時(shí)間可調(diào)：0~240s，滿足不同工藝

• 加速一致性好：±1%，保證重復(fù)性

• 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定：±1%，涂膜均勻

• 液晶顯示：參數(shù)實(shí)時(shí)可見(jiàn)

• 電機(jī)性能優(yōu)異：轉(zhuǎn)矩大，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)

• 適合流水線作業(yè)：電磁閥控制氣路，一泵帶多機(jī)

• 真空吸附穩(wěn)定：基片固定牢固，確保涂覆均勻性

六、適用行業(yè)與典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造：光刻膠涂布工藝

• 光學(xué)涂層：光學(xué)薄膜制備

• 材料科學(xué)：薄膜材料研發(fā)與制備

• MEMS微機(jī)電系統(tǒng)：微結(jié)構(gòu)涂覆

• 科研院所：實(shí)驗(yàn)室薄膜工藝研究

• 涂硼工藝：核探測(cè)器件制備

七、選配件說(shuō)明

真空泵為選配件，用戶可根據(jù)需要另行購(gòu)買。

八、購(gòu)買渠道：認(rèn)準(zhǔn)南北潮商城

南北潮商城是慧諾智能勻膠機(jī)產(chǎn)品的總代理，所有在售12Az實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)均為原廠，享受廠家級(jí)技術(shù)支持與售后服務(wù)。

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九、結(jié)語(yǔ)

慧諾12Az實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)憑借四段速度控制、八組程序記憶、100~7000rpm轉(zhuǎn)速范圍、液晶顯示、電磁閥氣路控制等優(yōu)勢(shì)，成為實(shí)驗(yàn)室旋涂涂膜的可靠設(shè)備。無(wú)論您是進(jìn)行半導(dǎo)體光刻膠涂布、光學(xué)薄膜制備，還是材料科學(xué)研究，這款勻膠機(jī)都能提供穩(wěn)定、均勻的涂覆體驗(yàn)。

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