慧諾NBC-12TV2(120℃)加熱型勻膠機:片托直接控溫,1-3秒快速熱交換,半導體/光學薄膜專用
在半導體、微電子、光學薄膜等領域,光刻膠涂布、聚合物薄膜制備等工藝對溫度控制和涂膠均勻性有著高要求。慧諾NBC-12TV2(120℃)加熱型勻膠機(旋涂儀/涂膠機)采用片托直接控溫技術,熱交換速度快至1-3秒,確保基片快速達到工藝溫度。轉速范圍100-3000rpm,加速度100-3000rpm/s,具備5段速度調節(jié)和12組參數記憶功能,加溫時間可精確控制(1-9999秒或分鐘)。搭配定制吸盤,適配5號至100號物品,是半導體、微電子、光學薄膜等領域高質量涂膠工藝的理想設備。
一、產品概述
慧諾NBC-12TV2(120℃)加熱型勻膠機專為高精度涂膠工藝設計。采用片托直接控溫技術,加熱部件集成于勻膠機后部背包,溫控器可設定目標溫度(如100℃),約1-3分鐘即可穩(wěn)定(±1℃)?;ㄈ缰睆?0mm、厚度1mm的硅片)放置到片托后,熱交換僅需1-3秒即可達到工藝溫度,大幅提升升溫效率和工藝一致性。
設備具備5段速度調節(jié)和12組參數記憶功能,轉速范圍100-3000rpm,加速度100-3000rpm/s,轉動扭矩在100rpm時大于1N·m,轉速穩(wěn)定。主機外形緊湊(400×250×350mm),采用220V/600W電源,運行穩(wěn)定安全。
二、核心特點
片托直接控溫,快速熱交換
采用片托本身直接控溫的加熱方式,而非傳統(tǒng)的環(huán)境加熱。硅片等物品與片托熱交換速度約1-3秒,基片快速達到工藝溫度,大幅縮短升溫等待時間,提高生產效率。
精準溫度控制
吸盤直接快速升至工藝溫度,加熱范圍室溫至120℃。溫控器顯示精確,藍色加熱指示燈實時顯示加熱狀態(tài),約1-3分鐘穩(wěn)定在±1℃精度內。
加溫時間可編程控制
加溫時間可精確設定,范圍為1-9999秒或1-9999分鐘,滿足不同工藝對加熱時長的要求。
5段速度調節(jié),12組參數記憶
支持5段速度可編程控制,每段轉速和加速度均可獨立設置。最多可存儲12組工藝參數,方便快速調用,提高實驗重復性。
寬轉速范圍,大扭矩穩(wěn)定
轉速范圍100-3000rpm,加速度100-3000rpm/s可調。在100rpm低速時扭矩大于1N·m,轉速穩(wěn)定,確保低轉速涂布時的均勻性和可靠性。
定制吸盤,適配5-100號物品
吸盤可定制,適配5號至100號不同尺寸的物品(如硅片、玻璃基片、金屬片等),靈活滿足多種樣品規(guī)格。
緊湊外形,穩(wěn)定可靠
主機外形尺寸400×250×350mm,結構緊湊,節(jié)省實驗室空間。220V/600W電源,運行穩(wěn)定安全。
三、加熱部件操作流程
打開勻膠機后部背包的加熱組件電源開關,觀察儀表通電和顯示
計時器未運行時,按一下RST按鈕,觀察計時器開始倒計時
設定溫控器溫度(如100℃),觀察溫控器顯示數值和藍色加熱指示燈閃爍,約1-3分鐘穩(wěn)定(±1℃),可結合接觸式測溫儀檢測片托表面溫度
將基片(如直徑20mm、厚度1mm的硅片)放置到片托,熱交換約1-3秒
結合自備的接觸式測溫或遠紅外測溫儀表得到物體實際溫度,如不符合預期,可通過溫控器修改設定溫度進行修正
四、詳細規(guī)格參數
| 參數項 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 加熱方式 | 片托直接控溫,熱交換速度約1-3秒 |
| 加熱范圍 | 室溫~120℃ |
| 溫度穩(wěn)定度 | ±1℃(約1-3分鐘穩(wěn)定) |
| 加溫時間控制 | 1-9999秒或1-9999分鐘 |
| 轉速范圍 | 100~3000rpm |
| 加速度范圍 | 100~3000rpm/s |
| 速度調節(jié) | 5段可編程 |
| 參數記憶 | 12組 |
| 轉動扭矩 | 100rpm時>1N·m,轉速穩(wěn)定 |
| 吸盤 | 定制,適配5號-100號物品 |
| 電壓/功率 | 220V / 600W |
| 外形尺寸 | 400×250×350mm |
五、適用行業(yè)與典型應用
半導體制造:光刻膠涂布、前烘/后烘固化
微電子:芯片涂膠、MEMS器件制備
光學薄膜:光學涂層旋涂、增透膜制備
材料科學:聚合物薄膜、納米材料涂布
科研院所:實驗室薄膜工藝研究、配方驗證
六、產品優(yōu)勢一覽
片托直接控溫:熱交換僅1-3秒,基片快速升溫
加熱溫度120℃:滿足光刻膠前烘、后烘等工藝需求
±1℃溫度穩(wěn)定度:約1-3分鐘快速穩(wěn)定
加溫時間可編程:1-9999秒或分鐘,精確控制
5段速度調節(jié):多段可編程,工藝靈活
12組參數記憶:快速調用,提高重復性
大扭矩穩(wěn)定:100rpm時扭矩>1N·m,低轉速不抖動
定制吸盤:適配5-100號樣品
緊湊外形:400×250×350mm,節(jié)省空間
七、購買渠道:認準南北潮商城
南北潮商城是慧諾智能加熱型勻膠機產品的總代理,所有在售NBC-12TV2(120℃)加熱型勻膠機均為原廠,享受廠家級技術支持與售后服務。
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八、結語
慧諾NBC-12TV2(120℃)加熱型勻膠機憑借片托直接控溫(1-3秒快速熱交換)、5段速度調節(jié)、12組參數記憶、100-3000rpm轉速范圍、100-3000rpm/s可調加速度、室溫~120℃加熱溫度等核心優(yōu)勢,成為半導體、微電子、光學薄膜等領域光刻膠涂布、聚合物薄膜制備的理想設備。無論您是進行光刻工藝開發(fā)、薄膜材料研究,還是小批量生產,這款加熱型勻膠機都能提供高效、精準、穩(wěn)定的涂膠+加熱一體化解決方案。
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