AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀

儀器簡介：

AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀是根據(jù)我公司的控制技術(shù)并按照高校廣大師生需求設(shè)計的產(chǎn)品，此AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀主要特點是采用915MHz微波頻率，2000W高功率固態(tài)微波源，微波穩(wěn)定輸出。可以對200mm直徑的襯底沉積金剛石薄膜。

AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀具有控溫無誤、7寸顯示屏顯示、觸摸控制、操作簡單方便，可以存儲數(shù)據(jù)。AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀具有數(shù)字處理功能，實時在線顯示和記錄反應(yīng)數(shù)據(jù)和曲線圖像，程序控制反應(yīng)條件，可將實驗分為多個工作階段，可隨時在線修改不適宜反應(yīng)條件參數(shù)，具有保存和查詢實驗記錄的功能。

AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀作用原理是在化學(xué)氣相沉積（CVD）基礎(chǔ)上利用微波輻射，產(chǎn)生等離子體。在微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）的技術(shù)下，碳原子通常以薄膜形式沉積在襯底表面。其中高溫襯底為到達表面的活性基團提供能量，使其能遷移并找到合適的位置成鍵。

應(yīng)用領(lǐng)域：

AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀適用于制備大面積金剛石膜、大尺寸寶石級單晶鉆石、高取向度金剛石晶體、納米結(jié)晶金剛石、石墨烯材料、Al₂O₃、SiOx、TiN、TiCN、金剛石涂層等。在金屬、玻璃、聚合物以及其他材料表面沉積有機或無機薄膜來保護其他表面不被腐蝕或改變其表面硬度、增強耐磨性能等。

AL-MLDMHS20型 微波制備大面積金剛石膜散熱片反應(yīng)儀能催化完成微波等離子體相關(guān)應(yīng)用，包括但不限于以下方面：

1、半導(dǎo)體加工：在半導(dǎo)體的蝕刻、濺射、氣相沉積、氧化硅片等生產(chǎn)工藝中使用微波等離子體技術(shù)。

2、表面處理：應(yīng)用于金屬、合金、非金屬的表面處理，如金屬表面的清洗和強化。

技術(shù)參數(shù)：

1、微波頻率：915MHz；

*2、微波功率:0-2000W，功率自由設(shè)置，微波功率隨溫度自動變頻控制，非脈沖連續(xù)加熱；

*3、微波功率上限隨意設(shè)置，并且具有設(shè)置功率下限功能，保證一直有功率輸出；

*4、微波控溫方式3種，分別是以設(shè)置的上限功率加熱到設(shè)定溫度然后保溫模式、初始溫度經(jīng)過設(shè)置的時間到達設(shè)定溫度從而達到緩慢升溫效果的速率升溫模式、設(shè)置每分鐘升溫溫度度數(shù)的升溫斜率模式；

5、2位高精度非接觸式紅外溫度傳感器，實時監(jiān)測反應(yīng)物溫度以及圓形襯底臺溫度，準確控制反應(yīng)進程；

*6、紅外測溫和控溫范圍:0～1200℃；具有速率升溫功能；

7、紅外測溫精度:≤±1.5℃ 控溫精度:≤±2℃；

*8、微波控溫采用無誤AI人工智慧邏輯算法 ，實現(xiàn)復(fù)雜長滯后對象無誤控制，保證控溫無誤，杜絕出現(xiàn)超溫、低溫等現(xiàn)象；

*9、襯底臺中內(nèi)置輔助電阻加熱器，功率0-4000W，功率自由設(shè)置，功率隨溫度自動控制；

*10、襯底臺中內(nèi)置接觸式K型熱電偶溫度傳感器，實時監(jiān)測襯底臺的溫度，并且進行反饋控制輔助電阻加熱器的功率；

11、K型熱電偶測溫和控溫范圍:0～1200℃；

12、K型熱電偶測溫精度:≤±2℃ 控溫精度:≤±2℃；

*13、壓力控制范圍：0~50KPa，壓力傳感器量程：0～100KPa，耐壓上限1MPa，控壓精度：0.2kPa；

14、20升316L奧氏體不銹鋼腔體，表面耐腐蝕、耐高溫性強；

15、具備冷卻水管路：用于冷卻反應(yīng)腔體、微波源等發(fā)熱部件；

16、蓋子上具備觀測的觀察窗口；

*17、微波系統(tǒng)組成：微波環(huán)行器，水負載以及連接波導(dǎo)組成。保護固態(tài)微波源，可連續(xù)不間斷持續(xù)工作。系統(tǒng)駐波系數(shù)：VSWR≤1.5；

18、7英寸高亮度TFT液晶顯示觸摸屏直接操作，Cortex-A8 CPU核心，配備USB接口；實時顯示反應(yīng)溫度和功率數(shù)據(jù)，并顯示曲線，可以保存和查詢實驗記錄；

*19、具備：4路反應(yīng)氣體進入管路，再混合成1路送入腔體內(nèi)；

20、具備：真空管路用于抽真空；

21、具備：尾氣處理管路用于安全排放反應(yīng)產(chǎn)生的危險或有害氣體；

22、可以進行氣氛、真空以及微正壓環(huán)境下反應(yīng)實驗；

23、微波泄漏符合國家標準。

*表示我公司優(yōu)勢技術(shù)。