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日本HORIBASTEC-8440F8450高溫質(zhì)量流量控制器

參考價
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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2026-07-11
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量160
  • 人氣值2479
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日本HORIBASTEC-8440F8450高溫質(zhì)量流量控制器
日本HORIBASTEC-8440F8450高溫質(zhì)量流量控制器 產(chǎn)品詳情
概要
質(zhì)量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測量,需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測和控制,且在半導體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
1.適用于高溫:可滿足150℃烘焙
2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
3.超清潔類型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造
4.MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8440LSL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8450LSL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8455LSL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8460LSL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8440LSM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8450LSM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8455LSM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8460LSM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8440LSH
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8450LSH
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8455LSH
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8460LSH
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8440SL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8450SL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 3/5/10 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8455SL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8460SL
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 20/30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8440SM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8450SM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 3/5/10 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8455SM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8460SM
 
氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時:開
標準流量量程 20/30/50 SLM
流量控制范圍 2?100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃
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