日本ORC 分體式紫外線照度光量計(jì)

基礎(chǔ)核心參數(shù)

1. 工作原理：受光探頭接收紫外輻射轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，主機(jī)運(yùn)算輸出實(shí)時(shí)照度與累積曝光能量數(shù)值；設(shè)備輸出信號(hào)支持外接系統(tǒng)存儲(chǔ)方案，導(dǎo)出報(bào)表用于光電工藝復(fù)盤。

2. 型號(hào)：UV-M03A（需搭配 UV-SN/UV-SD 系列受光探頭使用）

3. 測(cè)量項(xiàng)目：紫外輻照度、累積紫外光量

4. 可選探頭波段：UV25 深紫外波段、UV35 標(biāo)準(zhǔn)光刻波段、UV42 長(zhǎng)波固化波段

5. 量程范圍：照度 0.001～50mW/cm2；光量 0.001～19999mJ/cm2

6. 信號(hào)輸出：RS232 數(shù)字通訊、模擬電壓輸出，適配電腦與記錄設(shè)備

7. 運(yùn)行功能：自動(dòng)量程、光量一鍵清零、數(shù)據(jù)保持、自動(dòng)關(guān)機(jī)

8. 供電形式：五號(hào)干電池便攜使用，可選外接電源長(zhǎng)期連續(xù)監(jiān)測(cè)

9. 結(jié)構(gòu)形式：主機(jī)與探頭分體式，搭配不同長(zhǎng)度信號(hào)線纜靈活布設(shè)

10. 使用環(huán)境：0～60℃，濕度穩(wěn)定無(wú)大量凝露，無(wú)塵曝光車間、光學(xué)研發(fā)質(zhì)檢工位

日本ORC 分體式紫外線照度光量計(jì)

核心功能特點(diǎn)

1. 模塊化可替換探頭，一套主機(jī)覆蓋多條產(chǎn)線不同波段光源檢測(cè)，降低儀器采購(gòu)成本。

2. 實(shí)時(shí)照度與累積能量同步顯示，一次測(cè)量同時(shí)獲取兩項(xiàng)關(guān)鍵制程管控指標(biāo)。

3. 分體式傳感布局，細(xì)長(zhǎng)線纜搭配小型探頭，消除曝光機(jī)內(nèi)部空間狹小帶來(lái)的測(cè)量盲區(qū)。

4. 測(cè)量精度穩(wěn)定，復(fù)測(cè)一致性優(yōu)良，適合建立光源點(diǎn)檢標(biāo)準(zhǔn)，追蹤燈管長(zhǎng)期衰減趨勢(shì)。

5. 雙路信號(hào)輸出方案，既可現(xiàn)場(chǎng)人工讀數(shù)，也能接入外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)記錄。

6. 自動(dòng)量程智能切換，無(wú)需人工調(diào)整檔位，高低照度工況均可順暢測(cè)量。

7. 整機(jī)體積小巧重量輕便，操作人員手持巡回點(diǎn)檢不易疲勞，適配多臺(tái)曝光機(jī)集中普查。

8. 探頭光學(xué)結(jié)構(gòu)匹配傳統(tǒng)汞燈光譜特性，貼合 PCB、半導(dǎo)體行業(yè)成熟曝光工藝檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

9. 簡(jiǎn)易操作邏輯，基礎(chǔ)培訓(xùn)后工作人員可獨(dú)立完成取樣、讀數(shù)、數(shù)據(jù)記錄整套流程。

10. 完整光電制程質(zhì)控臺(tái)賬留存，紫外光源巡檢記錄可回溯，曝光工藝驗(yàn)證、燈管更換評(píng)估項(xiàng)目驗(yàn)收可直接調(diào)取管控記錄。

適用場(chǎng)景

1. PCB 制造行業(yè)：內(nèi)外層線路曝光、阻焊油墨固化汞燈照度與能量定期點(diǎn)檢。

2. 半導(dǎo)體工位：晶圓光刻設(shè)備光源監(jiān)測(cè)，管控曝光能量波動(dòng)，保障圖形轉(zhuǎn)移精度。

3. 液晶光學(xué)領(lǐng)域：基板清洗、光刻制程紫外光源狀態(tài)評(píng)估。

4. 印刷行業(yè)：UV 油墨、光油固化生產(chǎn)線紫外輻照參數(shù)校驗(yàn)。

5. 光學(xué)材料實(shí)驗(yàn)室：感光材料、薄膜樣品紫外曝光條件試驗(yàn)。

6. 電子制造廠品控與設(shè)備工程部門，汞燈曝光制程配套紫外能量檢測(cè)設(shè)備。