基礎(chǔ)核心參數(shù)

1. 工作原理：交變磁場感應(yīng)產(chǎn)生渦流，采集反饋信號換算方塊電阻與體電阻率，檢測記錄可保存歸檔。

2. 型號：NC?80MAP 無損傷方阻檢測儀

3. 測量方式：非接觸渦流感應(yīng)測量

4. 適配樣品：標(biāo)準(zhǔn)機型適配對應(yīng)尺寸圓形晶圓，可拓展更大規(guī)格載臺

5. 探頭配置：可換裝多款原廠探頭，覆蓋寬區(qū)間測量范圍，可選小型細(xì)口徑探頭

6. 點位規(guī)劃：支持自定義測量點位排布，可設(shè)置大量測試點位自動巡檢測量

7. 圖像輸出：可生成二維等值分布圖、三維立體分布圖

8. 數(shù)據(jù)分析：自帶統(tǒng)計功能，自動匯總各項統(tǒng)計指標(biāo)，支持?jǐn)?shù)據(jù)文件導(dǎo)出

9. 操作控制：配套電腦軟件實現(xiàn)設(shè)備全部功能設(shè)置、測量啟動與數(shù)據(jù)管理

10. 安全構(gòu)造：設(shè)備配備急停按鈕，載臺運動區(qū)域具備防護(hù)窗口

11. 使用環(huán)境：無塵實驗室工況，避開強電磁干擾、持續(xù)震動環(huán)境

12. 選配組件：晶圓厚度檢測配件、高量程拓展探頭

日本NAPSON 非接觸晶圓方塊電阻檢測儀

核心功能特點

1. 全程非接觸式測量，不會損傷昂貴外延片、超薄薄膜樣品，同一樣品可反復(fù)多次測試。

2. 多規(guī)格探頭靈活替換，一套設(shè)備兼顧低阻擴散材料、中阻硅基材、高阻薄膜樣品檢測。

3. 自動多點測繪功能，無需人工逐點移動樣品，提升大批量樣品檢測效率。

4. 可視化分布圖譜輸出，直觀定位材料導(dǎo)電不均勻區(qū)域，輔助工藝條件調(diào)整。

5. 貼近樣品邊緣點位測試，減少檢測盲區(qū)，完整評估整片基材性能狀態(tài)。

6. 軟件內(nèi)置統(tǒng)計分析功能，無需額外軟件即可快速獲取均勻性相關(guān)評估指標(biāo)。

7. 測量數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化導(dǎo)出，便于建立數(shù)據(jù)庫，長期追蹤生產(chǎn)工藝波動情況。

8. 封閉式防護(hù)腔體，減少環(huán)境粉塵落在樣品表面，適配潔凈車間使用需求。

9. 程序支持存儲多套測量方案，切換不同物料檢測時快速調(diào)取參數(shù)，簡化操作。

   10. 完整檢測臺賬留存，新品工藝開發(fā)、來料品質(zhì)檢驗、周期性制程驗證均可調(diào)取記錄溯源。

適用場景