產(chǎn)品概述

塞維歐SEIVIO Vaculub B042 半導(dǎo)體真空潤滑脂采用蒸汽壓較低的直線分子結(jié)構(gòu)的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是一種專門為半導(dǎo)體制造設(shè)備、高真空環(huán)境及潔凈室設(shè)計的特種潤滑劑。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，由于涉及ji高真空、ji高/極低溫以及對微小塵埃的“零容忍”，普通潤滑油會揮發(fā)并污染芯片，因此必須使用這種高性能的合成脂。

產(chǎn)品特性

+ 極低蒸氣壓（低揮發(fā)性）：這是最關(guān)鍵的特性。在真空環(huán)境下，普通油脂會迅速揮發(fā)成氣體，不僅導(dǎo)致潤滑失效，還會污染真空腔體和晶圓；

+ 高潔凈度（低出氣量）：嚴(yán)格控制總質(zhì)量損失（TML）和可冷凝揮發(fā)物（CVCM），確保不會產(chǎn)生冷凝物沉積在精密的光學(xué)元件或硅片上；

+ 優(yōu)異的耐化學(xué)性：半導(dǎo)體工藝常涉及蝕刻氣體、等離子體和各種化學(xué)試劑。這種潤滑脂通常采用全氟聚醚（PFPE）基礎(chǔ)油，能抵抗強酸、強堿及強氧化劑；

+ 不導(dǎo)電與抗輻射：良好的介電性能，且在離子注入等涉及輻射的工序中不會變質(zhì)。

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于典型應(yīng)用場景（半導(dǎo)體核心設(shè)備）

真空腔體密封：PVD/CVD 鍍膜、刻蝕機、離子注入機、ALD、擴散爐、真空烘箱的法蘭、O 型圈、接頭、門閥密封；

精密傳動潤滑：晶圓傳輸機械手、真空軸承、滾珠絲杠、線性導(dǎo)軌、真空閥門、真空泵、光刻機 / 步進機的運動部件潤滑；

光學(xué) / 真空部件：激光設(shè)備、真空視窗、光學(xué)鏡頭、舞臺燈光等精密真空光學(xué)系統(tǒng)。

包裝規(guī)格

1kg/罐裝      訂貨號 147802

儲存運輸

應(yīng)在常溫、陰涼、避光處保存，禁止在陽光下直曬，以免油脂分離及分解。在原包裝中保質(zhì)期可達36個月。

使用建議

薄涂原則： 只需要在表面形成一層連續(xù)的薄膜即可。過量的油脂可能會被吸入真空泵造成污染，或流進反應(yīng)瓶影響實驗結(jié)果。

清潔： 在更換或重新涂抹前，必須用異丙基醇、己烷或?qū)Ｓ们逑磩⑴f的殘余油脂及吸附的灰塵清除。

關(guān)于塞維歐®SEIVIO

作為比瑟奴潤滑科技®在中國的子品牌，塞維歐致力于為客戶提供高品質(zhì)的半導(dǎo)體真空潤滑脂應(yīng)用解決方案、專業(yè)的技術(shù)支持與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。聯(lián)系我們，了解更多產(chǎn)品信息！