離子遷移譜氣體分析儀 工作原理

離子遷移譜（IMS）是一種基于均勻電場中離子-分子相互作用的分析技術(shù)。該技術(shù)的主要優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)緊湊、靈敏度高（ppb-ppt級）、響應(yīng)速度快（毫秒范圍）、常壓操作和分離異構(gòu)體的能力。傳統(tǒng)的IMS儀器主要由電離區(qū)、反應(yīng)區(qū)和漂移管三部分組成。

離子遷移譜氣體分析儀 特點優(yōu)勢

晶圓廠AMC監(jiān)控

環(huán)境空氣ppb級別檢測

TA、HCl、HF、NH3、VOC

非放射性等離子體電離源

高靈敏度

與獵戶座3100結(jié)合，可以監(jiān)控45個端口

實時圖形軟件

離子遷移譜儀示意圖

離子遷移譜技術(shù)具有靈敏度高（ppb范圍）、響應(yīng)速度快（毫秒范圍）、結(jié)構(gòu)緊湊、可在大氣壓下操作以及能分離異構(gòu)體等優(yōu)點。在這篇簡短的報告中，我們展示了使用IMS檢測（HCl）和（HF）的靈敏度和快速響應(yīng)。

HCl和HF是摩爾質(zhì)量為36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。HCl酸和HF酸是醫(yī)藥、高分子、石油化工等工業(yè)中的重要化合物。這兩種化學(xué)物質(zhì)在半導(dǎo)體工業(yè)中也很重要。在許多半導(dǎo)體應(yīng)用中，需要在低ppb水平下監(jiān)測HCl和HF的存在。

將60 ppb的HCl與85 ppb的HF進行比較。從右圖很明顯可見，這兩個化合物可以很容易地被EIMS區(qū)分。IMS的分離能力可以通過降低離子門脈沖的長度來提高。然而，分離度的提高會導(dǎo)致靈敏度的降低。另一方面，犧牲IMS的分辨能力可以提高靈敏度。所有這些修改都可以在軟件中輕松實現(xiàn)，用戶可以方便地設(shè)置HCl和HF檢測的最佳參數(shù)。

EDK 4500 EIMS主要特點：

獵戶座3100是半導(dǎo)體工業(yè)的完整AMC系統(tǒng)

獵戶座3100是一個多點區(qū)域監(jiān)測系統(tǒng)，依次將氣體吸入分析儀或通過氣體傳感器分析讀取濃度，采樣點數(shù)可根據(jù)用戶需求配置。獵戶座3100有報警和報告軟件，是依據(jù)多年的經(jīng)驗開發(fā)的系統(tǒng)。

獵戶座3100可使用以太網(wǎng)、Modbus、 RS232/RS485或可選4～20mA模擬模塊，最多可從4至6個分析儀或氣體傳感器輸出數(shù)據(jù)。每個分析器都有一臺內(nèi)部計算機（Linux OS），它可以無限期地存儲硬盤上的數(shù)據(jù)，并通過數(shù)字（RS232）或以太網(wǎng)輸出將實時數(shù)據(jù)發(fā)送給數(shù)據(jù)存儲器。此外，該分析儀可以通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程控制。此功能允許用戶在任何可以訪問Internet的地方使用web瀏覽器操作分析儀。此遠(yuǎn)程訪問允許對儀器進行bios級控制，并提供無需現(xiàn)場即可獲取數(shù)據(jù)和診斷儀器操作的機會。