檢測(cè)需求

潔凈室需要控制污染物水平。準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室氣態(tài)分子污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。

可靠的監(jiān)測(cè)

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外，直接吸收式的檢測(cè)因其零背景的性質(zhì)，可保證長(zhǎng)期高穩(wěn)定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測(cè)儀器，如顆粒物監(jiān)測(cè)儀等，整合在一個(gè)機(jī)柜里。

技術(shù)應(yīng)用

DKG ONE-CF4光聲光譜氣體分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無(wú)時(shí)延的探測(cè)最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長(zhǎng)達(dá)幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

光聲光譜氣體分析儀 優(yōu)勢(shì)

準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

無(wú)耗材或者化學(xué)試劑

短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn) 優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)量程

直接吸收測(cè)量，無(wú)漂移

校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（可達(dá)數(shù)年）

高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點(diǎn)

高選擇性的監(jiān)測(cè)痕量水平的CF4

檢測(cè)下限(LoD)低于0.1 ppb

響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從5秒到3分鐘

動(dòng)態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定

無(wú)耗材

低樣品量（幾ml）

內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

重新校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（幾個(gè)月）

直觀的用戶界面

內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

可通過(guò)局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作