空氣分子污染物(AMC)對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。

無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測(cè)AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。

阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案，不需要采樣，離線測(cè)量。

檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來(lái)自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問(wèn)題：從潔凈間到生產(chǎn)機(jī)臺(tái)加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測(cè)變得越來(lái)越重要。

污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散,并且成份的增加，分子污染物來(lái)自多個(gè)源頭,比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。

阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問(wèn)題和減少污染問(wèn)題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級(jí)測(cè)量，提供早期AMC監(jiān)測(cè)和快速確定這些污染問(wèn)題的原因。

空氣分子污染物MC監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 亮點(diǎn)

一般特點(diǎn)：

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測(cè)

獨(dú)立分開(kāi)測(cè)量有機(jī)物成份

Sub-ppb檢測(cè)限

集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

應(yīng)用

潔凈間污染物監(jiān)測(cè)

過(guò)濾器狀態(tài)監(jiān)測(cè)

加工過(guò)程全組份測(cè)量診斷污染物

通過(guò)成份形成跟蹤污染物源頭

許多生產(chǎn)過(guò)程化學(xué)藥劑成為污染物的源頭，NH3因光刻工藝過(guò)程而最為著名。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3,等等很多類似的化學(xué)藥劑的分解與釋放,都造成AMC的增加。而實(shí)時(shí)迅速測(cè)量這些成份濃度的阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)可以跟蹤污染物形成的時(shí)間和路線。

圖1.操作界面

污染物交叉干擾是另一個(gè)潔凈室控制的難題，事實(shí)上，由于潔凈室內(nèi)部氣體循環(huán)，一個(gè)工藝段上的必須用的藥劑或溶劑有可能成為另一個(gè)不同工藝段的危害物或污染物。多虧阿瑞斯-μvoc系統(tǒng)多組份低濃度測(cè)量能力，為潔凈室交叉干擾難題提供了絕好的解決方案。

圖2.色譜流程圖

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)過(guò)濾器狀態(tài)

在新風(fēng)空調(diào)箱（MUA）、高效過(guò)濾器（FFU）、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)上方SWIF下方安裝化學(xué)過(guò)濾器，實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中過(guò)濾器的維護(hù)和更換，如果太早或者太遲都會(huì)引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。

帶有16通道的阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)可以監(jiān)測(cè)過(guò)濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當(dāng)進(jìn)來(lái)的氣體不符合過(guò)濾標(biāo)準(zhǔn)時(shí)采樣點(diǎn)位于進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)上游；當(dāng)吸收能力耗盡時(shí)采樣點(diǎn)位于下游。

過(guò)程生產(chǎn)工具

阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)專為連續(xù)監(jiān)測(cè)、無(wú)人值守操作設(shè)計(jì)，是專業(yè)的過(guò)程分析工具，16通道采樣點(diǎn)可以通過(guò)設(shè)置自動(dòng)進(jìn)樣進(jìn)行分析，每個(gè)通道都有報(bào)警設(shè)置功能，移動(dòng)式使用功能使阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)成為診斷空氣分子污染物AMC的理想工具。

板載標(biāo)定功能,匹配嚴(yán)格的質(zhì)量控制規(guī)則。

實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果，無(wú)計(jì)算運(yùn)行。

標(biāo)配，給提供客戶遠(yuǎn)程聯(lián)網(wǎng)技術(shù)支持服務(wù)。

工作原理

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離岀來(lái)后通過(guò)氫氣/空氣火焰離子檢測(cè)器探測(cè)電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨(dú)特的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測(cè)限。

特性