參考級Z向位移臺(tái)
極其精確和可靠的定位。用于在高負(fù)載時(shí)進(jìn)行平穩(wěn)饋通的交叉滾柱導(dǎo)軌。應(yīng)力消除鋁基座可實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性。帶直流電機(jī)和兩相步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)器變型。非接觸式限位開關(guān)。
位置測量
電機(jī)軸上帶集成式旋轉(zhuǎn)編碼器(帶直流電機(jī)的變型)。
集成線性編碼器。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的直接位置測量,動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中的機(jī)械游隙或滯后對定位精度無影響
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè)和科研,如半導(dǎo)體檢驗(yàn)、光纖對準(zhǔn)。
| 6635911030 | 6635921030 | 66359x1230 | 單位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 帶直流電機(jī)和旋轉(zhuǎn)編碼器的Z向位移臺(tái) | 帶步進(jìn)電機(jī)的Z向位移臺(tái) | 也帶線性編碼器(直接位置測量) | |||
| 主動(dòng)軸 | Z | Z | Z | ||
| 運(yùn)動(dòng)和定位 | |||||
| 行程 | 13 | 13 | 毫米 | ||
| 集成傳感器 | 旋轉(zhuǎn)編碼器 | 線性編碼器 | |||
| 傳感器分辨率 旋轉(zhuǎn)編碼器 | 5000 | 步/圈 | |||
| 設(shè)計(jì)分辨率 | 0.0134 | 1.34(全步) | 0.05 | 微米 | 典型值 |
| 最小位移 | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 微米 | |
| 單向重復(fù)精度 | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 微米 | |
| 空回 | 2 | 2 | 微米 | ||
| 雙向重復(fù)性 | 3 | 3 | ±0.1 | 微米 | |
| 串?dāng)_,角度誤差xry(螺距) | ±100 | ±100 | 微弧度 | ||
| 串?dāng)_,角度誤差xrz(偏轉(zhuǎn)角) | ±100 | ±100 | 微弧度 | ||
| 速度 | 6 | 6 | 毫米/秒 |
| |
| 機(jī)械特性 | |||||
| 負(fù)載容量 | 200 | 200 | 牛 |
| |
| 保持力 | 30 | 60 | 牛 |
| |
| 驅(qū)動(dòng)特性 | |||||
| 電機(jī)類型 | 直流電機(jī) | 兩相步進(jìn)電機(jī) | |||
| 工作電壓 | 0至±12 | 伏 | |||
| 電機(jī)功率 | 17 | 瓦 | |||
| 限位開關(guān) | 光學(xué) | 光學(xué) | |||
| 其他 | |||||
| 工作溫度范圍 | -20 到 50 | -20 到 50 | °C | ||
| 材料 | 鋁,陽極氧化致黑 | 鋁,陽極氧化致黑 | |||
| 推薦控制器/驅(qū)動(dòng)器 | C-863(單通道) | SMC Hydra(雙通道) C-663(單通道) | SMC Hydra(雙通道) |


































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