■操作性·功能
●射頻13.56Mhz 0-500W高功率機(jī)型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
●標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實(shí)時顯示真空度,使得控制更為精確。
●一體成型鋁制腔體,腔體材質(zhì)結(jié)實(shí)可靠而且無需擔(dān)憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■安全性·保護(hù)
●標(biāo)準(zhǔn)裝備自我診斷功能,可實(shí)時監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●DP和RIE模式標(biāo)準(zhǔn)配備即可利用等離子的化學(xué)性質(zhì)又可以有效利用
其物理性質(zhì),工藝應(yīng)用范圍更加廣泛。。
●原則上所有材質(zhì)的樣品都可以進(jìn)行清洗,對清洗樣品材質(zhì)沒有要求。
●液晶觸摸屏控制,操作簡單方便。
●標(biāo)準(zhǔn)配備產(chǎn)生等離子均勻性很好的平行平板電極。
●標(biāo)準(zhǔn)裝備多種安全功能,安全措施綿密。
■用途
●CSPBGACOB基板等離子清洗
●去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
●印刷電路基板的干式清洗
●材料表面活化處理
●LDE封裝
■構(gòu)成圖

■技術(shù)規(guī)格
| 型號 | PDC510 | |
| 方式 | RIE模式/DP模式 | |
| 性能 | 發(fā)生器功率: | 0-500W |
| 發(fā)生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | |
| 發(fā)生器匹配方式: | 自動匹配(Auto matching) | |
| 構(gòu)成 | 腔體材質(zhì): | 一體成型鋁制腔體 |
| 腔體內(nèi)尺寸: | W500×D300×H200mm | |
| 電極尺寸: | W400×D200 | |
| 反應(yīng)氣體: | 二路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體 | |
| 控制顯示方式: | 液晶觸摸屏、全自動控制 | |
| 真空度顯示: | 數(shù)字式皮拉尼傳感器,實(shí)時顯示腔體內(nèi)真空度。 | |
| 反應(yīng)氣體流量控制: | MFC 質(zhì)量流量計 | |
| 門: | 鉸鏈門帶觀察窗 | |
| 外形尺寸: | W700×D700×H1285mm | |
| 真空泵: | 干式真空泵 NEODRY 36E(油泵可選) | |
| 真空泵抽速: | 36m3/h | |
| 電源規(guī)格: | 三相200V 8A | |
| 重量: | 約180kg | |
●CSPBGACOB基板等離子清洗
●去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
●印刷電路基板的干式清洗
●材料表面活化處理
●LDE封裝
































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