PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓,玻璃基板對應(yīng)
用途
● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
規(guī)格:
| 型號 | PR500 | PR510 |
| 等離子模式 | DP模式,桶形 | |
| 高頻輸出功率 | Max500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | |
| 同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | |
| 反應(yīng)腔 | 石英Φ215×305mm | |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(O2/CF4) | |
| 控制 | 手動 | 觸模屏自動控制 |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | |
| 外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm | 參照規(guī)格書 |
| 重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 |
| 電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
































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