美國Alicat艾里卡特MS系列數(shù)字質(zhì)量流量計(MS-Series Mass Flow Meter),采用層流差壓測量技術(shù),可實時同時測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力與溫度四個參數(shù),廣泛用于高校實驗室、科研院所、檢測機構(gòu)及半導(dǎo)體、光伏等工業(yè)過程。
【核心參數(shù)】
滿量程范圍:0.5 SCCM 至 5000 SLPM
測量原理:層流差壓式(內(nèi)部溫壓補償)
質(zhì)量流量精度:±(0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程)
高精度可選:±(0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程)
流量重復(fù)性(2σ):±0.2%滿量程
測量范圍/量程比:1%至滿量程,100:1
工作壓力范圍:11.5 至 160 PSIA
靜壓:145 psig
工作溫度:-10℃至60℃
響應(yīng)時間:典型10ms(可調(diào))
預(yù)熱時間:小于1秒
接液材質(zhì):316L不銹鋼與FFKM密封件
防護等級:IP40
輸出:模擬與RS-232數(shù)字通訊(可選Modbus RTU等)
【技術(shù)優(yōu)勢】
1. 一臺儀器同時輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度,省去多臺儀表。
2. 100:1寬量程比,低至滿量程1%仍可精確測量,適應(yīng)多工況。
3. 內(nèi)部對壓力與溫度自動補償,并按用戶設(shè)定的標準狀態(tài)換算,數(shù)據(jù)穩(wěn)定。
4. 內(nèi)置多氣體選擇功能,可在數(shù)十種常用氣體間切換,無需更換硬件。
5. 響應(yīng)快、無可動部件、壓損小,適合動態(tài)與在線測量。
【采購支持】
正規(guī)渠道供貨,貨源穩(wěn)定,可提供選型與技術(shù)支持。支持對公轉(zhuǎn)賬、開具發(fā)票,適合高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)部門合規(guī)采購。如需其他量程或耐腐蝕型號,可聯(lián)系客服確認。
【注意事項】
實際選型需結(jié)合氣體種類、流量范圍與工況壓力溫度確認。本頁參數(shù)以原廠規(guī)格為準,具體以出廠資料為準。






























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