美國Alicat艾里卡特FusionFlow系列MXM動態(tài)氣體混配系統(tǒng)（Gas Blending System），以MixModule控制單元為核心，采用高速動態(tài)質(zhì)量流量混合技術(shù)，可同時混合10路氣體（可用純氣或預(yù)混氣），輸出總流量從0至12000SLPM，廣泛用于高校實驗室配氣、材料研究、環(huán)境模擬及工業(yè)在線混合等場景。

【核心參數(shù)】

混合方式：基于Alicat高速質(zhì)量流量控制器的動態(tài)質(zhì)量流量混合

通道數(shù)量：MXM-ES-SA/RM 支持2至10路；MXM-ES-TK/MINI 支持2至6路

單通道量程：0-0.5 SCCM 至 0-12000 SLPM（可選任意中間量程）

系統(tǒng)總流量：0-20 SCCM 至 0-120000 SLPM（依控制器配置）

單通道精度：100SCCM-20SLPM：±0.6%讀數(shù) 或 ±0.1%滿量程（取較大者）

　　　　　　50-12000SLPM：±0.8%讀數(shù) 和 ±0.2%滿量程

單通道重復(fù)性(2σ)：±(0.2%讀數(shù) + 0.02%滿量程)

控制響應(yīng)時間：約25ms（依型號/流量/氣體/背壓）

混合精度：±0.6%目標混合比例

人機界面：高分辨率觸摸屏

可跟蹤氣體種類：支持10種純氣或預(yù)混氣

接液材質(zhì)：不銹鋼（控制器流道、內(nèi)部元件、管路及匯流排）

【技術(shù)優(yōu)勢】

1. 一臺系統(tǒng)同時混合可10路氣體，配比精確、響應(yīng)迅速，替代多臺單臺流量計。

2. 同一氣體可接入多個通道增大流量，或按不同量程配置，兼顧微流量與大流量。

3. 支持純氣或預(yù)混氣輸入，可跟蹤10種氣體，配方靈活。

4. 觸摸屏界面直觀，配比比例、流量與壓力實時顯示與設(shè)定。

5. 多種形態(tài)可選（臺式、機架式、一體式），適配不同安裝與管路條件。

【采購支持】

正規(guī)渠道供貨，貨源穩(wěn)定，可提供選型與技術(shù)支持。支持對公轉(zhuǎn)賬、開具發(fā)票，適合高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)部門合規(guī)采購?；炫湎到y(tǒng)需按氣體種類、通道數(shù)與流量定制，具體配置請聯(lián)系客服確認。

【注意事項】

實際選型需結(jié)合氣體種類、通道數(shù)量、流量范圍與工況壓力溫度確認。本頁參數(shù)以原廠規(guī)格為準，具體以出廠資料為準；腐蝕性氣體與部分迷你機型不可配。