1. 用途及特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。

氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。

它們在石化工業(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.致力于對產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）進(jìn)行了全新的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

動(dòng)控制。

M3030V 和M3030A 型 氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項(xiàng) 目 M3030V型 M3030A

1 流量規(guī)格（N2）: 10sccm ～ 30slpm

（本公司可以為客戶在10sccm ～ 30slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）

2 準(zhǔn)確度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 :zui高 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

9 外形尺寸

總長：依進(jìn)氣口、出氣口接頭規(guī)格而定

寬：36mm 高：138mm

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

     范