| 儀器型號 | VMS-1510 | VMS-2010 | VMS-2515 | VMS-3020 | VMS-4030 | |
| 工作臺 | 金屬臺面尺寸(mm) | 354×228 | 404×228 | 450×280 | 510×290 | 606×466 |
| 玻璃臺面尺寸(mm) | 210×160 | 260×160 | 306×196 | 350×280 | 450×350 | |
| 運動行程(mm) | 150×100 | 200×100 | 250×150 | 300×200 | 400×300 | |
| 儀器重量(Kg) | 100 | 110 | 120 | 200 | 240 | |
| 外形尺寸(mm) | 700×600×900 | 700×600×900 | 760×600×900 | 770×590×1000 | 950×700×11000 | |
| Z軸升降行程 | 150mm | |||||
| 工作距離 | 108mm | |||||
| X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | |||||
| X、Y坐標 示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||||


































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