微波等離子發(fā)生設(shè)備 型號(hào) DPLZ-1500
本設(shè)備由微波系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成
電源:AC220V,50Hz
微波功率:0-1500W連續(xù)線性可調(diào)(或0-800W連續(xù)線性可調(diào))
微波頻率:2450MHz±50MHz
石英管反應(yīng)室:φ50mm
放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在放電腔內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)
放電腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù)

































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