美國(guó)MKS真空計(jì)  MKS 999系列多探頭全量程真空計(jì)

999 quattro系列的™是zui終的傳感器解決方案，結(jié)合熱陰極技術(shù)。999系列提供了從10-10乇大氣壓力測(cè)量，結(jié)合大氣交換能力，并結(jié)合的關(guān)鍵技術(shù)成一個(gè)完整的表的解決方案。它在一個(gè)緊湊的四個(gè)傳感器的功能 quattro包括微型熱陰極電離傳感器，基于MEMS的micropirani™傳感器和一個(gè)*的壓電傳感器，提供差分和傳感器功能。

美國(guó)MKS真空計(jì)  MKS 999系列多探頭全量程真空計(jì)優(yōu)勢(shì)：

•單傳感器提供了一個(gè)廣闊的10-10 Torr to測(cè)量范圍10-10乇高真空環(huán)境過程

• Accurate atmospheric pressure reading

•精確的大氣壓力讀數(shù)獨(dú)立的氣體的類型和氣壓壓力的變化

• Gas independent absolute measurement

•氣體獨(dú)立的測(cè)量從50乇大氣（1%的讀數(shù)高于50乇）

• 4-in-1 sensor eliminates complex

•四合一傳感器消除了復(fù)雜的流形，布線和控制要求

• Both analog and digital operation and

•模擬和數(shù)字兩種操作通信

• Piezo and MicroPirani sensors are

•壓和micropirani傳感器在操作過程中自動(dòng)校準(zhǔn)

• MicroPirani technology allows for hot

•micropirani技術(shù)允許熱在較低的陰極燈絲控制改進(jìn)燈絲生活壓力

• Two yttria-coated iridium filaments,

•兩釔涂層的銥絲，專為延長(zhǎng)壽命

• Includes a patented degas function

•包括脫氣功能

• Mountable in any orientation for easy

•安裝在任何方向容易安裝

• Single selectable analog output (0.5 or

•單可選擇模擬輸出（0.5或0.75 ）

• 3 user-configurable set point relays

•3用戶可配置的設(shè)置點(diǎn)繼電器

• Microprocessor-based digital technology

•基于微處理器的數(shù)字技術(shù)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)訪問

• RoHS and CE compliant

•CE和ROHS標(biāo)準(zhǔn)

美國(guó)MKS真空計(jì)  MKS 999系列多探頭全量程真空計(jì)應(yīng)用：

999 系列quattro的是理想的測(cè)量從大氣到廣泛的真空范圍UHV, 特高壓，與大氣的交換能力。典型的應(yīng)用包括半導(dǎo)體，薄膜涂層，分析儀器高能物理學(xué)。這些應(yīng)用程序需要*的穩(wěn)定性和精度從多傳感器的設(shè)計(jì)效益數(shù)字接口。緊湊的包系統(tǒng)集成商的理想.在這些市場(chǎng)上的設(shè)備制造商。客戶需要一個(gè)電源和 PDR900顯示可以使用999的pdr900.900系列控制器。

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