北京空港北光儀表有限公司（原承德北光友升儀表有限公司）流量計為公司核心產(chǎn)品。公司依托多年行業(yè)經(jīng)驗，吸收國內(nèi)外成熟技術(shù)，選用符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的材料與成熟加工工藝，產(chǎn)品品類與規(guī)格豐富，性能穩(wěn)定可靠，可滿足多場景使用需求。

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產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	否

THYRACONT 是德國真空測量與控制領(lǐng)域的專業(yè)廠商，專注真空計/變送器/控制器，覆蓋從粗真空到超高真空的寬量程，產(chǎn)品以測量可靠、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成著稱。

THYRACONT Smartlin 智能數(shù)字真空變送器產(chǎn)品詳情

Smartline™ 德國THYRACONT 旗艦數(shù)字真空變送器

一、產(chǎn)品概覽

Smartline™ 是 THYRACONT（德國）的旗艦數(shù)字真空變送器系列，定位為 "數(shù)字化·耐用·智能·工業(yè)4.0就緒" 的真空測量解決方案。

項目	內(nèi)容
品牌	THYRACONT Vacuum Instruments（德國制造）
產(chǎn)品定位	旗艦級智能數(shù)字真空變送器
測量范圍	1200 ~ 5×10?1? mbar（覆蓋粗真空到超高真空）
核心技術(shù)	32位ARM微控制器 + 組合傳感器（壓電/皮拉尼/冷陰極/熱陰極）
工業(yè)4.0	業(yè)內(nèi)提供OPC UA標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，PROFINET支持MRP冗余
認(rèn)證	CSA/UL 認(rèn)證

二、核心技術(shù)優(yōu)勢

2.1 高效微控制器

采用 32位ARM處理器，支持復(fù)雜算法和快速響應(yīng)，為智能切換、預(yù)測性維護(hù)等功能提供算力基礎(chǔ) 。

2.2 可更換傳感器頭

所有型號支持傳感器頭現(xiàn)場快速更換，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)存儲在傳感器頭內(nèi)，即插即用，無需重新編程，大幅縮短停機(jī)時間。

2.3 組合傳感器智能切換技術(shù)

THYRACONT 的核心競爭優(yōu)勢之一——在單個殼體內(nèi)集成多種測量原理，通過智能切換算法實現(xiàn)寬量程連續(xù)測量：

自動識別當(dāng)前壓力范圍
在各傳感器"最佳精度區(qū)"之間平滑切換
切換點經(jīng)過優(yōu)化，避免讀數(shù)跳變
單一輸出信號，用戶無需關(guān)心內(nèi)部切換

以 VSR 為例：>20 mbar 使用壓電傳感器（氣體無關(guān)，精度高）→ <20 mbar 切換到皮拉尼傳感器（低壓靈敏度高），切換過程對用戶透明。

2.4 工業(yè)4.0就緒

OPC UA 標(biāo)準(zhǔn)：真空測量行業(yè)提供 OPC UA 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的制造商
PROFINET 型號支持 MRP（媒體冗余協(xié)議），實現(xiàn)從 I/O 層到 ERP 層乃至云端的雙向無損數(shù)據(jù)傳輸
預(yù)測性維護(hù)：通過 RS485/PROFINET 實時監(jiān)測傳感器磨損程度、腐蝕狀態(tài)、上次校準(zhǔn)時間及運行小時數(shù)，主動規(guī)劃維護(hù)周期

2.5 診斷參數(shù)一覽

參數(shù)	說明與應(yīng)用
傳感器磨損度	0?100%，接近100%時建議更換傳感器頭
腐蝕狀態(tài)	監(jiān)測傳感器內(nèi)部腐蝕程度，用于腐蝕性環(huán)境
運行小時計	累計工作時間，用于計劃性維護(hù)
放氣循環(huán)計數(shù)	記錄從真空到大氣壓的次數(shù)（熱陰極型號重要）
上次校準(zhǔn)時間	提醒定期校準(zhǔn)

三、全型號傳感器參數(shù)

3.1 型號一覽表

型號	傳感器技術(shù)	測量范圍 (mbar)	測量范圍 (Torr)	氣體相關(guān)性	最佳應(yīng)用
VSR	壓電 + 皮拉尼（鎢絲）	1200 ~ 1×10??	900 ~ 1×10??	>20 mbar 無關(guān)	標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，裝載腔、泄漏測試、鍍膜
VCR	壓電 + 皮拉尼（鉑銠絲）	1200 ~ 5×10??	900 ~ 5×10??	>20 mbar 無關(guān)	腐蝕性介質(zhì)環(huán)境
VSL	雙壓電 + 皮拉尼（鎢絲）3合1	絕對：1200~1×10?? / 相對：?1060~+340	900 ~ 1×10??	—	半導(dǎo)體裝載腔（差壓控制）
VCL	雙壓電 + 皮拉尼（鉑銠絲）3合1	絕對：1200~5×10?? / 相對：?1060~+340	900 ~ 5×10??	—	腐蝕性介質(zhì)裝載腔
VSP	皮拉尼（鎢螺旋絲）	1000 ~ 1×10??	750 ~ 1×10??	氣體相關(guān)	精細(xì)真空，標(biāo)準(zhǔn)潔凈環(huán)境
VCP	皮拉尼（鉑銠螺旋絲）	1000 ~ 5×10??	750 ~ 5×10??	氣體相關(guān)	腐蝕性氣體環(huán)境
VSI	冷陰極（反向磁控管）	2×10?3 ~ 5×10??	1.5×10?3 ~ 5×10??	氣體相關(guān)	高真空專用
VSM	皮拉尼 + 冷陰極	1000 ~ 5×10??	750 ~ 5×10??	氣體相關(guān)	寬范圍高真空，真空爐、PVD/CVD鍍膜
VSH	皮拉尼 + 熱陰極（B?A型）	1000 ~ 5×10?1?	750 ~ 5×10?1?	氣體相關(guān)	超高真空研究、MBE、空間模擬

3.2 精度與響應(yīng)時間

型號	精度	響應(yīng)時間
VSR / VCR / VSL / VCL	±15%	< 100 ms
VSP / VCP	±15%	< 100 ms
VSI	±30%	< 1s（冷陰極啟動 < 2s）
VSM	±15% / ±30%	< 1s
VSH	±15% / ±10%	< 1s

四、電子與接口規(guī)格

4.1 電氣參數(shù)

參數(shù)	規(guī)格
供電電壓	20?30 VDC
功耗	最大 2.5W（VSM 3W，VSH 8W）
附加功耗	+0.8W 繼電器/LCD，+1.6W PROFINET
工作溫度	+5℃ ~ +60℃（PROFINET 型號 +50℃）
存儲溫度	?40℃ ~ +65℃
防護(hù)等級	最高 IP54
氦泄漏率	< 5×10?1? mbar·l/s
接液材料	不銹鋼（VSR: SS 1.4307, W, Ni, 玻璃, 金, 氧化硅；VCR/VCP: 另含 PtRh；VSM: 另含 Mo, Al?O?；VSH: 另含 Pt, Ir, 氧化釔）

4.2 通信接口

接口類型	詳情
RS485 數(shù)字接口（標(biāo)配）	波特率自動檢測 9.6~115 kBd；最多247個設(shè)備；最遠(yuǎn)1200米
0?10V 模擬輸出（標(biāo)配）	對數(shù)輸出，1.5V~8.58V 對應(yīng)測量范圍，可通過RS485自定義曲線
EtherCAT（可選）	100 Mbps，μs級同步，菊花鏈拓?fù)?/td>
PROFINET（可選）	支持 OPC UA、MRP 冗余，西門子PLC生態(tài)
藍(lán)牙（可選）	通過 SLKBT 適配器連接

4.3 其他硬件特性

特性	規(guī)格
顯示屏	可選 LCD 帶條形圖
繼電器輸出	2路可配置設(shè)定點
真空接口	DN16/25/40 KF，DN16/40 CF
過壓能力	4 bar（VSR/VCR/VSI/VSH），10?16 bar（其他型號）
烘烤溫度	125?180℃（型號相關(guān)，需斷電）
重量	190?555g（因型號而異）
控制器兼容	VD12（2通道）/ VD14（4通道）

五、組合傳感器詳解

5.1 組合方式與量程

組合型號	組合方式	測量范圍 (mbar)	切換邏輯
VSR	壓電 + 皮拉尼（鎢絲）	1200 ~ 1×10??	>20 mbar 用壓電（氣體無關(guān)）；<20 mbar 切換皮拉尼
VCR	壓電 + 皮拉尼（鉑銠絲）	1200 ~ 5×10??	同上，耐腐蝕
VSL	雙壓電 + 皮拉尼（3合1）	絕對+相對壓力測量	差壓控制
VCL	雙壓電 + 皮拉尼（3合1）	絕對+相對壓力測量	差壓控制，耐腐蝕
VSM	皮拉尼 + 冷陰極	1000 ~ 5×10??	高壓區(qū)用皮拉尼，低壓區(qū)切換冷陰極
VSH	皮拉尼 + 熱陰極（B?A型）	1000 ~ 5×10?1?	高壓區(qū)用皮拉尼，UHV 區(qū)切換熱陰極

5.2 VSH 熱陰極（Bayard?Alpert）特別說明

VSH 使用 Bayard?Alpert（B?A）結(jié)構(gòu)，是超高真空測量的"黃金標(biāo)準(zhǔn)" ：

燈絲材料：釔涂層銥絲（Y?O??coated Iridium），抗氧化，壽命長
雙燈絲設(shè)計：一個工作，一個備用，提高可靠性
放氣循環(huán)：可承受 > 100,000 次放氣循環(huán)（從 UHV 到大氣壓）
全金屬密封，氦泄漏率 < 5×10?1? mbar·l/s
B?A 結(jié)構(gòu)優(yōu)勢：收集極設(shè)計為細(xì)絲，降低X射線極限，使測量下限可達(dá) 10?1? mbar 甚至更低

六、軟件與移動應(yīng)用

工具	說明
VacuGraph™	桌面軟件，支持 Windows/Linux/Mac，用于數(shù)據(jù)采集、參數(shù)配置、傳感器監(jiān)測
VacuSniff™	移動應(yīng)用，支持最多16臺設(shè)備 via 藍(lán)牙連接
PROFINET PICC	配合 PLC 直接訪問全部參數(shù)

七、典型應(yīng)用領(lǐng)域

Smartline 系列廣泛應(yīng)用于：

半導(dǎo)體制造（裝載腔、刻蝕、CVD/PVD）
薄膜鍍膜（PVD、CVD、濺射）
真空爐（熱處理、釬焊、燒結(jié)）
冷凍干燥（制藥、食品）
激光焊接（真空環(huán)境焊接）
質(zhì)譜分析（科研儀器）
研究與開發(fā)（表面科學(xué)、MBE、空間模擬）

八、快速選型建議

需求場景	推薦型號	理由
標(biāo)準(zhǔn)裝載腔/泄漏測試	VSR	壓電+皮拉尼組合，覆蓋大氣到低真空
腐蝕性氣體環(huán)境	VCR / VCP / VCL	鉑銠絲耐腐蝕
半導(dǎo)體裝載腔差壓控制	VSL / VCL	雙壓電+皮拉尼3合1，絕對+相對測量
真空爐/PVD/CVD鍍膜	VSM	皮拉尼+冷陰極，大氣到高真空連續(xù)覆蓋
超高真空研究（<10?? mbar）	VSH	熱陰極B?A型，可測至10?1? mbar
高真空專用（無需低真空）	VSI	純冷陰極，性價比高
工業(yè)4.0智能制造	Smartline 全系列

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) MRP 壓電傳感器 ERP 顯示屏

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