美國MKS質(zhì)量流量控制器   MKS GM50A系列金屬密封質(zhì)量流量控制器

gm50a是一個通用的，金屬密封的MFC非常適合于各種各樣的要求從5 SCCM 50 SLM FS流量控制功能的應(yīng)用程序，N2當(dāng)量。該gm50a包含了的數(shù)字流控制電子隨著一個很好的證明，獲得的熱傳感器和機(jī)械設(shè)計。

The GM50A digitally controlled MFC is available with either analog or digital I/O. The digital control electronics utilize the latest in MKS control algorithms providing fast and repeatable response to setpoint throughout the device control range. Typical response times are on the order of 500 milliseconds. Included is a digital calibration that yields 1% of setpoint accuracy on the calibration gas. The GM50A’s analog and digital I/O can easily be used to replace those same I/O types of the 1479A MFCs.

數(shù)字控制的gm50a MFC提供的模擬或數(shù)字I / O的數(shù)字控制電路，利用的控制算法來設(shè)定MKS提供快速和可重復(fù)的響應(yīng)在整個裝置的控制范圍。典型的響應(yīng)時間在500毫秒的順序。包括一個數(shù)字校準(zhǔn)，收益率1%的設(shè)定精度對標(biāo)定氣體。該gm50a的模擬和數(shù)字I / O可以很容易地被用來代替那些相同的I / O型的1479a電池。

The GM50A utilizes the standard 3-inch footprint most often used by MFCs in the 5 sccm to 50 slm flow rate range enabling its use without the need to modify existing gas line configurations. The GM50A metal sealed MFC with its electropolished surface finish is well suited for use in high purity process applications. The GM50A is also available in an MFM version (not electropolished).

該gm50a利用zui常用的在5 sccm的50 slm的流量范圍內(nèi)，使其使用而不需要修改現(xiàn)有的氣線配置電池標(biāo)準(zhǔn)3英寸的足跡。金屬密封的gm50a MFC與拋光的表面光潔度是非常適合使用在高純度的過程中的應(yīng)用。該gm50a在MFM版本也可用（不拋光）。

美國MKS質(zhì)量流量控制器   MKS GM50A系列金屬密封質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢：

•獲得的熱傳感器的設(shè)計提供了的零點穩(wěn)定性1%的設(shè)定精度（標(biāo)定）可以精確的過程控制

• Embedded user interface provides the ability to

•嵌入式用戶界面提供的能力

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Easily change de

易變化

vice range and user gas reducing inventory requirements

副范圍和用戶氣減少庫存要求

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Monitor de

監(jiān)控設(shè)計

vice functionality and collect performance data in-situ

副功能和收集性能數(shù)據(jù)的現(xiàn)場

• 10μ inch electropolished 316L surface finish enables MFC use for high purity applications

•10μ英寸的電拋光316L表面光潔度使MFC使用高純度的應(yīng)

• Compatible analog and digital (RS485, Devicenet and Profibus) I/O allow the GM50A to replace its 1479A counterparts

•兼容模擬和數(shù)字（RS485總線，DeviceNet）I / O允許gm50a更換1479a同行

• CE Mark and RoHS Compliance – meeting requirements for the European Union

•CE標(biāo)記和RoHS指令的歐盟要求

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