美國MKS真空計  MKS 910系列壓電皮拉尼真空計

專為廣泛的壓力測量中的應用，910系列變頻器結合壓電micropirani™傳感器技術。組合的輸出提供了更高的精度，重復性和穩(wěn)定性，比傳統(tǒng)的熱導率計，更快的響應時間。

美國MKS真空計  MKS 910系列壓電皮拉尼真空計優(yōu)勢：

•為節(jié)省空間和測量范圍寬單傳感器兩個傳感器

• Ultra compact design

•超緊湊的設計

• Absolute pressure measurement from 1500 to 10-5 Torr

•壓力測量從1500到10-5乇

• Gas independent absolute pressure measurement from 11 to 1500 Torr

•氣體獨立測量壓力從11到1500乇

• Fast, accurate and repeatable pressure measurements reduces process cycle time

•快速，準確和可重復的測量壓力減少過程的周期時間

• Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy

•安裝在任何方向，安裝方便；沒有損失的測量精度

• Optional display available for local pressure indication

•可選顯示可用的局部壓力指示

• MicroPirani and Piezo solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration

•micropirani和壓電傳感器抗從空氣侵入或振動的損傷

• Three setpoints with fast response time for reliable process control (optional)

•三設定值與可靠的過程控制的快速響應時間（可選）

• Ease of operation via analog output and digital communication

•通過模擬輸出和數(shù)字通信操作緩解

• Setup, diagnostic and operation software available

•設置，診斷和操作軟件

• Alternate analog output and electrical connectors available to match other vendors’ gauges and facilitate an easy upgrade

•交替的模擬輸出和電連接器可與其他廠商的儀表和方便容易升級

• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC

•CE標志，符合EMC指令2004／108／EEC

美國MKS真空計  MKS 910系列壓電皮拉尼真空計應用：

910個傳感器允許用戶將多個表到一個單一的，緊湊的封裝。這不僅節(jié)約成本，但可以簡化操作和他們的系統(tǒng)設計。大范圍的測量能力和可用車載繼電器允許在一個非常小的足跡的一個高層次的功能。910可用于任何真空室要求壓力的測量與交換能力。

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