離子濺射蒸碳儀庫號:M413336
離子濺射蒸碳儀 型號:ZX/SD-900C庫號:M413336 查看hh
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原理:
濺射功能依據(jù)二JI(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路控制真空室壓QIANG、電離電流及任YI選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場中氣體電離特性,采用DA容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層均勻純凈。
熱蒸發(fā)功是能通過對碳纖維繩加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝。
參數(shù):
儀器尺寸 :主機 300mm×360mm×380mm(W×D×H)
蒸鍍 300mm×360mm×160mm(W×D×H)
真空樣品室: 玻璃腔體 160mm×110mm(D×H)
靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)
濺射靶 :二極直流濺射靶 (標(biāo)配)磁控靶(選配)
濺射靶材:Au
濺射靶材大?。害?0mm
樣品臺:50mm (D)
濺射工作電壓:0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流:0-50 mA (磁控0-100mA)
濺射定SHI:0-999S
蒸碳電流 0-100A(AC)
蒸發(fā)材料:碳纖維
蒸發(fā)工作電壓:0-30V
蒸發(fā)時間:0-1S
微型真空氣閥:可連接φ3mm軟管
可通入氣體: 多種
真空泵: 2升機械旋轉(zhuǎn)泵
速率:0--10nm/min(磁控0—60nm/min)
用途:
1、適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)觀察前對樣品的噴金、噴鉑、噴碳等。
2、非導(dǎo)體材料實驗電極制作(噴金、噴鉑、噴銀等)
3、其他可以滿足條件的鍍膜實驗。
離子濺射蒸碳儀庫號:M413336


















































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