熱式氣體質(zhì)量流量控制器庫(kù)號(hào):M413346
熱式氣體質(zhì)量流量控制器型號(hào):BDD-S030C庫(kù)號(hào):M413346 查看hh
熱式氣體質(zhì)量流量控制器
型號(hào):BDD-S030C
流量:50SCCM
精度:1% F.S
本體數(shù)顯的流量控制器,操作簡(jiǎn)單,示數(shù)直觀,無(wú)需連接分體數(shù)顯表,無(wú)需PLC編程,數(shù)字模擬量通訊均可!一鍵操作
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)出廠通常用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘)、SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)
標(biāo)準(zhǔn)狀況:溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程
型號(hào):BDD-S030C
流量規(guī)格(氮?dú)猓?-10sccm/10sccm-50slm
控制量程:2%-100 %
精度:≤±1.0%F.S
線性:≤±0.5%F.S
重復(fù)性:≤±0.2%F.S
閥門(mén)類(lèi)型:常閉閥
響應(yīng)時(shí)間:1-3sec
耐壓:≤0-50Bar
通信信號(hào):0-5V/4-20mA/Rs485
供電方式:14VDC--27VDC (300mA)
泄*漏率:1×10-9atm. cc/sec He
應(yīng)用行業(yè):真空鍍膜設(shè)備、石油化工、航空、航天、醫(yī)藥、制造業(yè)、火電、核電、天*然*氣、加氣站、液晶面板制造半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能*源與環(huán)境設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等行業(yè)的公司等
熱式氣體質(zhì)量流量控制器庫(kù)號(hào):M413346









































