氦質(zhì)譜檢漏儀 PECVD 檢漏
上海伯東代理德國 Pfeiffer 多功能多用途氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 成功應(yīng)用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。

PECVD：( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強化學(xué)氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種 CVD 稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積 (PECVD)。

PECVD 檢漏原因：PECVD 工作環(huán)境需要兩個必要條件：低溫和真空。可以通過上海伯東德國 Pfeiffer 機械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 聯(lián)用獲得穩(wěn)定的高真空。由于 PECVD 結(jié)構(gòu)復(fù)雜，組成部分較多，各組件通過各種法蘭接口連接，當(dāng)長時間運行時可能造成接口或管路松動，導(dǎo)致真空度抽不下來，影響沉積薄膜的質(zhì)量，這時就需要通過檢漏來排查漏點。常規(guī)的檢漏如涂肥皂水等方法，耗時耗力且精度低，容易受操作人員干擾，所以利用氦質(zhì)譜檢漏儀的排查方法越來越廣泛使用。

PECVD 檢漏方法：采用檢漏儀的真空法進行檢漏，對懷疑有漏的地方噴氦氣，如果檢漏儀報警，則表明此處有漏！上海伯東客戶中科院某研究所目前現(xiàn)有多臺舊款 Adixen ASM 142 檢漏儀，因為設(shè)備增加，在經(jīng)過工程師*后采購檢漏儀 ASM 340。
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