【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】近日，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光元件技術(shù)與工程部劉世杰研究員團(tuán)隊(duì)聯(lián)合南京理工大學(xué)朱日宏教授團(tuán)隊(duì)，在深度學(xué)習(xí)賦能光學(xué)散射計(jì)量技術(shù)研究中取得進(jìn)展。相關(guān)成果以“Deep learning-enabled optical scatterometry technique for high-precision and non-destructive measurement of grating microstructure parameters”為題，發(fā)表在國(guó)際期刊《Optics Express》。
 

　　面向先進(jìn)光學(xué)制造，光柵納米級(jí)微結(jié)構(gòu)參數(shù)的快速、無(wú)損、高精度測(cè)量仍面臨挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)RCWA、FDTD等物理反演方法計(jì)算開(kāi)銷較大，SEM、AFM等顯微測(cè)量方法則存在效率低、成本高和難以在線檢測(cè)等問(wèn)題。將穩(wěn)定光學(xué)測(cè)量裝置與深度學(xué)習(xí)分析引擎結(jié)合，是提升光柵計(jì)量速度與魯棒性的重要方向。
 

　　研究團(tuán)隊(duì)研制了雙光束光學(xué)散射計(jì)量系統(tǒng)，并提出自適應(yīng)自校準(zhǔn)物理約束卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)ASPCNN。該系統(tǒng)利用參考光路抑制光源波動(dòng)，模型通過(guò)自適應(yīng)感受野融合模塊和自校準(zhǔn)殘差注意力模塊提取多尺度光譜特征，并引入物理約束損失提升預(yù)測(cè)可靠性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，該方法實(shí)現(xiàn)了亞納米級(jí)測(cè)量精度，R²高于0.99，單樣本推理時(shí)間為9.07 ms，可為光柵微結(jié)構(gòu)參數(shù)的高速無(wú)損檢測(cè)提供支撐。
 

　　引用：上海光機(jī)所在深度學(xué)習(xí)賦能光學(xué)散射計(jì)量技術(shù)研究中取得進(jìn)展 上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 【引用時(shí)間：2026年6月26日】