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近空間升華爐-簡易型

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更新時間：2025-08-10 09:37:56瀏覽次數(shù)：213次

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江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司

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聯(lián)系人：徐燕（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

型號：QJ-RTP1000J用途：利用近空間升華法制備CdTe薄膜和CdS多晶薄膜規(guī)格：長920×深500×高560特點：體積小巧，操作方便真空:極限真空度≤10-3Pa(需配分子泵機組）系統(tǒng)抽真空能力（大氣到10-2Pa）≤5min

詳細介紹

該產(chǎn)品主要適用于近空間升華法制備樣品薄膜，例如CdTe和CdS薄膜。設(shè)備結(jié)構(gòu)上采用雙管結(jié)構(gòu)，外管直徑為110mm，一端封閉，內(nèi)管直徑為90mm。工藝氣氛從外管通入，內(nèi)管流出，使得氣氛更充分地與樣品接觸。通過爐膛左右移動實現(xiàn)快速升降溫。

近空間升華爐-簡易型.jpg

結(jié)構(gòu)特點：

1. 爐膛內(nèi)采用上下兩層加熱結(jié)構(gòu)，分別負責(zé)襯底和源的加熱。加熱元件為雙絲鹵鎢紅外燈管。

2. 爐膛加熱到用戶設(shè)定的時間后自動移開，實現(xiàn)快速降溫。

3. 實驗完成后可將放料托架打開，將石英外管移動到左端，露出樣品可方便取放。

4. 7英寸觸摸屏操作，設(shè)定曲線實時顯示。

5. 本方案采用兩塊石墨板對樣品襯底和源進行分別均熱，上下層熱電偶探頭分別插入石墨板內(nèi)進行控溫，使得兩部分的溫度均勻性分別達到3℃以內(nèi)。

項目：	參數(shù)
真空：	極限真空度≤10-3Pa(需配分子泵機組）系統(tǒng)抽真空能力（大氣到10-2Pa）≤5min
真空獲取：	采用分子泵機組真空系統(tǒng)達到≤10-3Pa，或2L直聯(lián)旋片式機械泵達到≤10Pa
真空計：	皮拉尼高精度真空計（顯示1×10-3Pa）
加熱方式：	燈管紅外加熱
溫度：	800℃
升溫速率：	10℃/s
降溫速率：	1、可控降溫（軟件自動控制）；2、自然冷卻（移走加熱爐膛）
溫控精度：	≤±1℃
溫控方式：	分區(qū)加熱，分區(qū)控溫。如圖所示，襯底加熱與源加熱分離，獨立控溫。石墨塊內(nèi)有測溫點，可監(jiān)控基板溫度。平臺三個部分可獨立移動。基板（實驗樣品）
尺寸：	3inch×3inch
溫控系統(tǒng)：	可實現(xiàn)精確自動控溫，10段升降溫程序，預(yù)存100條以上曲線
測溫方式：	K型熱電偶
控溫點：	2個（上下石墨勻熱板）
測溫點：	3個臨時測溫點，可通過法蘭處插入到腔內(nèi)不同位置，用來檢測腔體溫度分布。
恒溫區(qū)：	100mm（處理1片3inch×3inch基板）
恒溫區(qū)爐溫均勻性：	±3℃
溫度自動補償功能：	溫控儀增加環(huán)境溫度自動補償功能
工藝氣氛：	O2,N2，干燥空氣，3路供氣（可實現(xiàn)氣氛不同比例混合）
氣體控制：	O2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. N2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S.干燥空氣：0~1000sccm 精度：±1.0%F.S.
冷卻循環(huán)水：	連接法蘭（8mm寶塔接頭）
樣品冷卻：	爐膛自動移開，強制風(fēng)冷
額定功率：	220V,15kw
外形尺寸：	長920×深500×高560