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近空間升華設(shè)備-對開式

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更新時(shí)間：2025-08-10 09:39:36瀏覽次數(shù)：139次

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江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：45條

所在地區(qū)：江蘇無錫市

聯(lián)系人：徐燕（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

型號：QJ-RTP1000JD用途：利用近空間升華法制備CdTe薄膜和CdS多晶薄膜規(guī)格：爐管規(guī)格Φ150*700mm

詳細(xì)介紹

該設(shè)備實(shí)在簡易型近空間升華爐的基礎(chǔ)上改進(jìn)而來，溫區(qū)更長，管徑更大，對開式結(jié)構(gòu)溫場對稱性更好，散熱更快。源坩堝和襯底總成分別放置在兩個(gè)石英托架內(nèi)，放置在爐膛內(nèi)部的石英管軌道上。

1. 爐膛開門結(jié)構(gòu)分為左右兩個(gè)獨(dú)立單元，上下兩排燈管分別獨(dú)立控溫，加熱結(jié)束后爐膛均可通過按鈕控制或自動(dòng)分開成兩半，管子暴露在室溫環(huán)境下，底部兩個(gè)風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷對其散熱。

2. 主爐體下方分為兩個(gè)區(qū)域，分別為電器控制部分和真空部分。電器控制部分內(nèi)有溫控電路和機(jī)械動(dòng)作控制器等。真空部分包含一臺直聯(lián)旋片式機(jī)械真空泵、數(shù)顯真空計(jì)和正壓保護(hù)電路。

3. 石英管固定通過兩端法蘭上的支撐固定架與爐體螺栓固定連接，保證管子和法蘭位置始終不變。

爐膛模式：	前后移動(dòng)開啟式爐膛
顯示模式：	7英寸觸摸屏
加熱元件：	短紅外波燈管，上下水平面獨(dú)立加熱
工作溫度：	≤800℃
升溫速率：	10℃/s
樣品移動(dòng)：	無
溫區(qū)長度：	300mm（恒溫區(qū)100*100mm）
溫度均勻性：	≤±3℃
爐管規(guī)格：	Φ150*700mm
控溫精度：	±1℃
密封方式：	快速法蘭密封
儀表補(bǔ)償：	室溫自動(dòng)補(bǔ)償
溫度曲線：	10段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)，預(yù)存100條工藝曲線
外殼溫度：	≤50℃（室溫≤25℃）
超溫報(bào)警：	有
過流保護(hù)：	有
斷偶提示：	有
測溫元件：	K型鎧裝熱電偶
爐膛材料：	氧化鋁纖維
外形尺寸：	11008001300MM
整機(jī)功率：	20kw
電源參數(shù)：	220V 50Hz
真空與氣氛：
抽真空能力：	大氣到≤5Pa小于5min
氣壓范圍：	10-3Pa～105Pa，機(jī)械泵極限≤5Pa
泄漏率：	≤5-4（Pa*m3/s）
真空計(jì)范圍：	大氣到10-4Pa，分辨率0.01Pa
氣路系統(tǒng)：
1路進(jìn)氣口，內(nèi)有管道布?xì)?。?/td>
超壓保護(hù)（≥1atm），根據(jù)設(shè)定壓力值自動(dòng)排氣：
其它功能：
溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：	可存儲(chǔ)大于3個(gè)月的數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)導(dǎo)出：	U盤導(dǎo)出excel或csv格式
工藝曲線：	觸摸屏可顯示設(shè)定曲線預(yù)覽