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原位監(jiān)測橢偏儀IMS型是在科研級光譜橢偏儀的基礎(chǔ)上，根據(jù)有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要研發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測儀器，可用于金屬薄膜、無機(jī)薄膜、有機(jī)薄膜的蒸鍍、濺射等...
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