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詳細(xì)說明

生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：

【產(chǎn)品簡介】

擴(kuò)散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。
在現(xiàn)代工業(yè)中，擴(kuò)散爐常常用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化退火、燒結(jié)等工藝設(shè)備，也可作為磁性材料的燒結(jié)工藝，還可適用于機(jī)械行業(yè)的淬火，冶金業(yè)稀土燒結(jié)工藝。

【產(chǎn)品特點】
●新型爐體設(shè)計，提高了溫度穩(wěn)定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩(wěn)定。
●主機(jī)為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架，獨立完成不同的工藝或相同工藝。
●工業(yè)計算機(jī)控制系統(tǒng)，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動作進(jìn)行自動控制。
●采用懸臂送片器：操作方便、無摩擦污染。
●工藝管路閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管路），流量控制采用質(zhì)量流量計（MFC）進(jìn)口。
●具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能。

【擴(kuò)散爐系列性能技術(shù)指標(biāo)】

型號	爐管內(nèi)徑（mm）	爐管數(shù)量（管）	工作溫度（℃）	恒溫區(qū)長度（mm）	升溫時間（min）	穩(wěn)定時間（min）	升溫功率（KVA/管）	恒溫功率（KVA/管）	重量（Kg）	外型尺寸
										（長寬高）
L4513Ⅱ-1/RZQ	Φ80	1	500-1250℃短時間1300℃	>700℃,600±0.5℃;	<90	<120	<8.5	<4	320	14005601370
L4513Ⅱ-2/RZQ
L4513Ⅱ-3/RZQ									450	14005601793
L4514Ⅱ-1-3/RZQ	Φ90	1-#-3			30	<90		<3.3	485	對應(yīng)序號同上
L4513Ⅱ-11/RZQ	Φ90	1			<90	<120	<9.6	<4.5	330	14005601370
L4513Ⅱ-12/RZQ		2							475	14005601793
L4513Ⅱ-11-12/RZQ	Φ98	1-#-2			<40	<90		<4.3	450	對應(yīng)序號同上
L4513Ⅱ-14/RZQ		1			<60	<90	<10	<4.8	360	16005001490
L4513Ⅱ-15/RZQ		2							510	16005001903
L4513Ⅱ-21/RZQ	Φ100	1			<90	<120	<10	<5	340	14005601370
L4513Ⅱ-22/RZQ		2							500	14005601793
L4514Ⅱ-21-22/RZQ	Φ118	1-#-2			<40	<90		<4.8	490	對應(yīng)序號同上
L4513Ⅱ-31/RZQ	Φ120	1			<40	<150	<12	<6.5	400	16006001409
L4513Ⅱ-32/RZQ		2							580	16006001903
L4512Ⅱ-31-32/RZQ		1-#-2			<90			<5.5	580	對應(yīng)序號同上
L4514Ⅱ-31-32/RZQ	Φ135	1-#-2			同上	同上	<12	<6	600	16006001720
L4514Ⅱ-41-42/RZQ	Φ150						<13.5	<6.8
L4514Ⅱ-51-52/RZQ	Φ180	1-#-2			同上	同上	<18	<9	650	17006001800
L4514Ⅱ-61-62/RZQ	Φ200	1-#-2			<120	<160	<20	<10	680	17506501850
L4514Ⅱ-71-72/RZQ	Φ240	1-#-2			<120	<180	<24	<12	700	18007001900
說明 : 1、全部指標(biāo)為靜態(tài) 。 2、分離式注明“F"。 3、特殊要求，另行設(shè)計制造。